工作原理分好幾種,。

　　真空表一般用于負(fù)壓的地方,。與普通壓力表相比,，只是氣壓壓力的量程與精度的區(qū)別而已,。

　　真空壓力表的測量圍是0－1個大氣壓，而普通壓力表通常是0－幾十,、幾百甚至更大的大氣壓數(shù)量,。量程選好的話測量的讀數(shù)會準(zhǔn)確很多。

　　按真空計測量原理分類

　　直接測量真空計這種真空計直接測量單位面積上的力,，有:

　?。?）靜態(tài)液位真空計：利用U型管兩端液面差來測量壓力。

　?。?）彈性元件真空計：利用與真空相連的容器表面受到壓力的作用而產(chǎn)生彈性變形來測量壓力值的大小,。

　　間接測量真空計壓力為10-1Pa時，作用在1cm2表面上力只有10-5N,，顯然測量這樣小的力是困難的,。但可根據(jù)低壓下與氣體壓力有關(guān)的物理量的變化來間接測量壓力的變化。屬于這類的真空計有：

　?。?）壓縮式真空計：其原理是在U型管的基礎(chǔ)上再應(yīng)用波義耳定律,，即將一定量待測壓力的氣體，經(jīng)過等溫壓縮使之壓力增加,，以便用U型管真空計測量,，然后用體積和壓力的關(guān)系計算被測壓力。

　?。?）熱傳導(dǎo)真空計：利用低壓下氣體熱傳導(dǎo)與壓力有關(guān)這一原理制成,。常用的有電阻真空計和熱偶真空計。

　?。?）熱輻射真空計：利用低壓下氣體熱輻射與壓力有關(guān)原理,。

　　（4）電離真空計：利用低壓下氣體分子被荷能粒子碰撞電離,，產(chǎn)生的離子流隨電力變化的原理,。如：熱陰極電離真空計、冷陰極電離真空計和放射性電離真空計等,。

　?。?）放電管指示器：利用氣體放電情況和放電顏色與壓力有關(guān)的性質(zhì)判定真空度,，一般僅能作為定性測量。

　?。?）粘滯真空計：利用低壓下氣體與容器壁的動量交換即外摩擦原理,。如振膜式真空計和磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計。

　?。?）場致顯微儀：以吸附和解吸時間與壓力關(guān)系計算壓力,。

　　（8）分壓力真空計：利用質(zhì)譜技術(shù)進(jìn)行混合氣體分壓力測量,。常用的有四極質(zhì)譜計,、回旋質(zhì)譜計和射頻質(zhì)譜計等。