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*度(Precision)是指使用同種備用樣品進行重復(fù)測定*得到的結(jié)果之間的重現(xiàn)性,。測量*度(也常簡稱*度)*,是指偶然誤差與系統(tǒng)誤差都比較小,,這時測量數(shù) 據(jù)比較集中在真值附近,。雖然*度*可說明*度*,但*的結(jié)果也可能是不*的,。誤差是*度的表示,,是實測值與真實值偏離程度,而偏差是*密度的表示,,是平行測量間的相異程度,。 *度表示測量結(jié)果的正確性,*密度表示測量結(jié)果的重復(fù)性和重現(xiàn)性,,*密度是*度的前提條件,。 普通意義的分辨率(resolution)就是屏幕圖像的*密度,,是指顯示器*能顯示的像素的多少,。對于光柵尺而言是指可以測量的小單位.對于傳感器的分辨率與*度的理解,可以拿千分尺為例,,分辨率代表千分尺*多可以讀到小數(shù)點后幾位,,但*度還與尺子的加工*度,測量方法有關(guān)系,。 同樣的,,在光柵尺的使用中,分辨率與*度是不同的兩個概念,。
光柵尺的分辨率,,是指光柵尺可讀取并輸出的小長度變化,,對應(yīng)的參數(shù)有:每毫米光柵刻線數(shù)、脈沖數(shù),、細(xì)分等,。比如50線光柵和100線光柵在同等條件下分辨率就不*樣,同等的50線光柵如果細(xì)分方法不*樣分辨率也會不*樣,。
光柵尺的*度,,是指光柵尺輸出的信號數(shù)據(jù)對測量的真實長度度的*度,對應(yīng)的參數(shù)是微米(μm),、納米(nm).目前*光柵尺分辨率*般有5μm,、1μm、0.5μm,、0.2μm,、0.1μm。那么這些分辨率是怎么得來的呢,? 以每毫米50線光柵為例,,經(jīng)過4細(xì)分,就能得到很簡單的5μm的分辨率,,而不用采用電子細(xì)分,,這也是目前*海德漢光柵尺機床尺的多數(shù)工藝,至于*分辨率的光柵尺,,就必須采用電子細(xì)分技術(shù),,增加插補細(xì)分器才能得到。*分辨率光柵尺*般應(yīng)用于儀器儀表如視頻儀,、工具顯微鏡,、CNC加工中心等。
影響光柵尺測量*度有如下幾個方面:
A:光學(xué)部分 B:機械部分 C:電氣部分 D:使用中的安裝與傳輸接收部分,,使用后的*度下降,,機械部分自身的偏差。
A,、光學(xué)部分對*度的影響:
光柵尺玻璃—主要的是母尺*度,、每毫米刻線數(shù)、刻線*度,、刻線寬度*致性等,。
光發(fā)射源—光的平行與*致性、光衰減,。
光接收單元—讀取誤差,、讀取響應(yīng)。
光學(xué)系統(tǒng)使用后的影響—污染,,衰減,。
B,、機械部分對*度的影響:
安裝*度。軸承的*度與結(jié)構(gòu)*度,。光學(xué)組建安裝的*度,。 例如,就軸承的結(jié)構(gòu)而言,,單軸承支撐結(jié)構(gòu)的軸承偏差無法消除,,而且經(jīng)使用后偏差會更大,而雙軸承結(jié)構(gòu)或多支承結(jié)構(gòu),,可有效降低單個軸承的偏差,。
C、電氣部分對*度的影響:
電源的穩(wěn)定*度—對光發(fā)射源與接收單元的影響,。讀取響應(yīng)與電氣處理電路帶來的誤差,;電氣噪音影響,取決于光柵尺電氣系統(tǒng)的*干擾能力,;例如,,如果電子細(xì)分,也會帶來的誤差,,按照德國海德漢提供的介紹,,海德漢光柵尺的細(xì)分電氣誤差與正余弦曲線誤差會有*個很小的差異。
D,、光柵尺使用中帶來的*度影響:
輸出電纜的*干擾與信號延遲(較長距離或較快頻率下),;
接收設(shè)備的響應(yīng)與接收設(shè)備內(nèi)部處理可能的誤差。
光柵尺*速位移時的動態(tài)響應(yīng)偏差,。
常見的就是我們自己使用安裝的方法與安裝結(jié)果帶來的偏差,。
綜上*述,光柵尺的分辨率和*度其實是兩個不同的概念,,但是二者有關(guān)聯(lián),,*分辨率可以得到*的測量*度,但不是*分辨率*定能得到*的測量*度,。在同等條件下,,理論上*分辨率光柵尺*定可以得到*的測量*度。
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