高精度程控勻膠機(jī)型號(hào)：SYSC-100A
一.    產(chǎn)品應(yīng)用
SYSC-100A高精度程控勻膠機(jī)（Spin Coater）,，又稱(chēng)為旋轉(zhuǎn)涂膜儀,，是一代旋轉(zhuǎn)涂膜設(shè)備,。具有速度精度高、轉(zhuǎn)速穩(wěn)定,、旋轉(zhuǎn)加速度可控,、勻膠過(guò)程多段程序控制等特點(diǎn)。主要用于微電子,、半導(dǎo)體,、太陽(yáng)能電池、新能源,、生物材料,、光學(xué)器件等領(lǐng)域的表面涂膜工藝，例如各類(lèi)納米薄膜材料,、光阻涂層,、生物功能涂層的制備。
二.    產(chǎn)品特點(diǎn)
1.     旋轉(zhuǎn)電機(jī)采用專(zhuān)為勻膠機(jī)設(shè)計(jì)的精密高速伺服電機(jī),。
2.     優(yōu)異的旋轉(zhuǎn)加速性能,，Z大旋轉(zhuǎn)加速度可達(dá)40000rpm/s（有負(fù)載的真實(shí)加速度）。
3.     兩項(xiàng)安全互鎖功能：
 (1) 勻膠腔體具有開(kāi)啟,、關(guān)閉的檢測(cè)功能,，確保腔體關(guān)閉后才可啟動(dòng)，防止勻膠過(guò)程中飛片造**身傷害,；
 (2) 真空吸片具有真空檢測(cè)功能,，若發(fā)生真空泄漏,，基片無(wú)法吸附牢固，則立即停止運(yùn)行,。
4.     機(jī)身外殼采用SUS304不銹鋼制作,，防腐蝕、不生銹,、易清潔,。
5.     勻膠腔體采用德國(guó)勞士領(lǐng)NPP材料，經(jīng)CNC一體加工成型,。接儲(chǔ)脫離基片的膠液,，避免進(jìn)入真空管路和設(shè)備內(nèi)部。耐腐蝕,、易清潔,。
6.     旋轉(zhuǎn)吸片臺(tái)采用德國(guó)勞士領(lǐng)PEEK材料，經(jīng)CNC一體加工成型,。耐高溫,、耐腐蝕、不變形,。
7.     勻膠過(guò)程全自動(dòng)分段程序控制,。整個(gè)勻膠過(guò)程Z多可分十段進(jìn)行，每段的加速時(shí)間,、旋轉(zhuǎn)速度、勻膠時(shí)間均可精密控制,、連續(xù)可調(diào),。可儲(chǔ)存50組工藝程序,，隨時(shí)調(diào)用,。
8.     7英寸液晶觸摸屏使控制更方便；運(yùn)行狀態(tài)及各項(xiàng)參數(shù)實(shí)時(shí)顯示,，更直觀了解勻膠進(jìn)程,；
9.     真空泵的開(kāi)啟與關(guān)閉均為自動(dòng)程序控制，無(wú)需手動(dòng)操作,。
10.   旋轉(zhuǎn)前增加預(yù)吸片步驟,，“預(yù)吸片時(shí)間"Z多為99s，確?；喂涛接谛D(zhuǎn)臺(tái)后再進(jìn)行旋轉(zhuǎn)涂膜,。勻膠完成后增加解吸片步驟，“解吸片時(shí)間"Z多為99s,，確保安全停止后再切斷真空,，釋放基片,，防止涂膜后的基片滑落，對(duì)膜層造成損傷,。
11.   標(biāo)配無(wú)油真空泵,，低噪音。大吸力將基片緊緊吸附于旋轉(zhuǎn)臺(tái),，防止飛片,。
三.    技術(shù)參數(shù)
產(chǎn)品型號(hào)SYSC-100A
可鍍膜基片尺寸?10～100mm
旋轉(zhuǎn)速度10～8000rpm
轉(zhuǎn)速分辨率1rpm
速度精度＜0.02%
旋涂加速度*0～40000rpm/s
每段加速時(shí)間999.9s
每段旋涂時(shí)間9999.9s
時(shí)間分辨率0.1s
預(yù)吸片時(shí)間99s
解吸片時(shí)間99s

**大旋涂加速度為有負(fù)載條件下(使用≤?50mm基片)的真實(shí)加速度.