Semistat熱電式過(guò)程恒溫器

LAUDA - Semistat 熱電的溫度控制系統(tǒng)為等離子刻蝕工藝提供穩(wěn)定的可重復(fù)性的溫度控制系統(tǒng),。系統(tǒng)動(dòng)態(tài)地控制靜電卡盤(pán)(ESC)的溫度并可用在任何的刻蝕工藝中。熱電溫度控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)的基礎(chǔ)是基于帕爾帖原理的溫度轉(zhuǎn)換,。這些原件可以實(shí)現(xiàn)快速且準(zhǔn)確的溫度控制,，滿(mǎn)足了當(dāng)今器件生產(chǎn)尺寸越來(lái)越小的要求。

.為嚴(yán)苛的工藝提供快速且精確的溫度控制

.低能耗,，沒(méi)有壓縮機(jī)和制冷劑的系統(tǒng)

.工業(yè)領(lǐng)域占地小,，如果放置到地板下方則沒(méi)有占地空間要求

.極低的導(dǎo)熱液體填充量

.可以遠(yuǎn)程控制的通信模塊(RS-485通信協(xié)議)

上海驪葆科學(xué)儀器有限公司是多家實(shí)驗(yàn)室及工業(yè)儀器領(lǐng)域歐美有名廠家中國(guó)地區(qū)代理商，主要品牌有：

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