真空技術(shù)隨著越來(lái)越廣的應(yīng)用,,遍及航空航天光伏發(fā)電等領(lǐng)域,,是工業(yè)體系*的重要技術(shù),。目前真空技術(shù)受到世界各國(guó)的重視,真空設(shè)備,、技術(shù),、材料、配件等有著廣闊的市場(chǎng)前景,。我國(guó)真空設(shè)備行業(yè)每年以20%左右的速度增長(zhǎng),,在國(guó)家重大項(xiàng)目工程的扶持中,國(guó)內(nèi)的真空技術(shù)產(chǎn)業(yè)已不能在質(zhì)上滿(mǎn)足市場(chǎng)要求,。下面我們就三個(gè)重大產(chǎn)業(yè)對(duì)真空技術(shù)的需求做簡(jiǎn)要概述:
冶金工業(yè):冶金工業(yè)需用到的真空技術(shù)包括鋼液真空處理,、真空熔煉、真空感應(yīng)熔煉,、感應(yīng)殼熔煉,、真空電弧重熔等。其中,,真空鋼液處理是冶金工業(yè)很重要的一方面,。這項(xiàng)技術(shù)主要應(yīng)用于原子能工業(yè),宇宙空間技術(shù),、海洋鉆探技術(shù),、燃?xì)獍l(fā)動(dòng)機(jī)技術(shù)、汽車(chē)工業(yè)、飛機(jī)制造業(yè),、高速列車(chē)等高技術(shù)工業(yè)中,,對(duì)鋼中的某些元素進(jìn)行控制和處理,對(duì)鋼鐵材料的壽命,、可靠性提出了越來(lái)越高的要求,。目前各種應(yīng)用行業(yè)擁有現(xiàn)代化的真空處理設(shè)備,大大降低了鋼中氮,、氫,、氧等雜質(zhì)的含量,處理水平也不斷提高,。美,、日、德等國(guó)已經(jīng)將此項(xiàng)技術(shù)作為國(guó)家標(biāo)準(zhǔn),,并對(duì)其軸承鋼,、電工用鋼和大型鍛件采用真空脫氣處理,完成現(xiàn)代化鋼鐵工業(yè)的基本要求,。
電子與微電子工業(yè):微電子技術(shù)要求電子元器件和電路的尺寸越來(lái)越小,,集成度要求越來(lái)越高。這與真空技術(shù)的應(yīng)用密不可分,,特別是超大規(guī)模集成電路的微細(xì)加工技術(shù),,其幾何圖形結(jié)構(gòu)的形成、超薄層生長(zhǎng)技術(shù),、粒子束注入技術(shù)都需要高質(zhì)量,、清潔的真空環(huán)境,可見(jiàn)其發(fā)展對(duì)真空技術(shù),、裝備的依存性,。目前,日本真空廠(chǎng)商的銷(xiāo)售額中60%左右是面向電子工業(yè),,而當(dāng)今的超大規(guī)模集成電路大約有3/4的工序需要有真空條件,。
機(jī)械制造行業(yè):這是一個(gè)帶動(dòng)性強(qiáng)、帶動(dòng)作用廣的產(chǎn)業(yè),,目前歐債危機(jī)的陰霾仍未散去,,各國(guó)積極將機(jī)械制造產(chǎn)業(yè)作為提振經(jīng)濟(jì)的重點(diǎn)。它的技術(shù)應(yīng)用一般集中在真空熱處理,、真空釬焊,、真空涂層刀具等傳統(tǒng)領(lǐng)域。真空熱處理是指將真空技術(shù)與熱處理技術(shù)緊密結(jié)合的新型熱處理技術(shù),。它對(duì)工具,、模具和精密耦件的處理可起到提高使用壽命,、加速化學(xué)熱處理的吸附和反應(yīng)過(guò)程等特點(diǎn)。另外,,它本身工藝操作靈活,、無(wú)公害的特點(diǎn)成為行業(yè)常用的處理手段。
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