測(cè)量范圍 | 電阻率：0.0001～2000Ω.cm(可擴(kuò)展),；
方塊電阻：0.001～20000Ω/□(可擴(kuò)展),；
電導(dǎo)率：0.0005～10000 s/cm,；
電阻：0.0001～2000Ω.cm； | 可測(cè)晶片直徑 | 140mmX150mm(配S-2A型測(cè)試臺(tái)),；
200mmX200mm(配S-2B型測(cè)試臺(tái)),；
400mmX500mm(配S-2C型測(cè)試臺(tái))； | 恒流源 | 電流量程分為0.1mA,、1mA,、10mA、100mA四檔,，各檔電流連續(xù)可調(diào) | 數(shù)字電壓表 | 量程及表示形式：000.00～199.99mV,；
分辨力：10μV；
輸入阻抗：>1000MΩ,；
精度：±0.1% ,；
顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示；極性,、超量程自動(dòng)顯示,； | 四探針探頭基本指標(biāo) | 間距：1±0.01mm；
針間絕緣電阻：≥1000MΩ,；
機(jī)械游移率：≤0.3%,；
探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm；
探針壓力：5～16 牛頓(總力),； | 四探針探頭應(yīng)用參數(shù) | (見探頭附帶的合格證) | 模擬電阻測(cè)量相對(duì)誤差
( 按JJG508-87進(jìn)行) | 0.1Ω,、1Ω、10Ω,、100Ω小于等于0.3%±1字 | 整機(jī)測(cè)量大相對(duì)誤差 | (用硅標(biāo)樣片：0.01-180Ω.cm測(cè)試)≤±5% | 整機(jī)測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)不確定度 | ≤5% | 測(cè)試模式 | 可連接電腦測(cè)試也可不連接電腦測(cè)試 | 軟件功能（選配） | 軟件可記錄,、保存、打印每一點(diǎn)的測(cè)試數(shù)據(jù),，并統(tǒng)計(jì)分析測(cè)試數(shù)據(jù)大值,、小值、平均值,、大百分變化,、平均百分變化、徑向不均勻度,、并將數(shù)據(jù)生成直方圖,，也可把測(cè)試數(shù)據(jù)輸出到Excel中，對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析,。軟件還可選擇自動(dòng)測(cè)量功能,，根據(jù)樣品電阻大小自動(dòng)選擇適合電流量程檔測(cè)試。 | 計(jì)算機(jī)通訊接口 | 并口,，高速并行采集數(shù)據(jù),，連接電腦使用時(shí)采集數(shù)據(jù)到電腦的時(shí)間只需要1.5秒 | 標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境 | 溫度：23±2℃；
相對(duì)濕度：≤65%,；
無(wú)高頻干擾,；
無(wú)強(qiáng)光直射,； |
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會(huì)員.png)
