測量范圍 | 電阻率：10-5～105 Ω.cm(可擴(kuò)展)；
方塊電阻：10-4～106 Ω/□(可擴(kuò)展)；
電導(dǎo)率：10-5～105 s/cm,；
電阻：10-5～105 Ω； | 可測晶片厚度 | ≤3mm | 可測晶片直徑 | 140mmX150mm(配S-2A型測試臺),；
200mmX200mm(配S-2B型測試臺),；
400mmX500mm(配S-2C型測試臺)； | 恒流源 | 電流量程分為1μA,、10μA,、100μA、1mA,、10mA,、100mA六檔，各檔電流連續(xù)可調(diào) | 數(shù)字電壓表 | 量程及表示形式：000.00～199.99mV,；
分辨力：10μV,；
輸入阻抗：>1000MΩ；
精度：±0.1% ,；
顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示,；極性、超量程自動顯示,； | 四探針探頭基本指標(biāo) | 間距：1±0.01mm,；
針間絕緣電阻：≥1000MΩ；
機(jī)械游移率：≤0.3%,；
探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm,；
探針壓力：5～16 牛頓(總力)； | 四探針探頭應(yīng)用參數(shù) | (見探頭附帶的合格證) | 模擬電阻測量相對誤差
( 按JJG508-87進(jìn)行) | 0.01Ω,、0.1Ω,、1Ω、10Ω,、100Ω,、1000Ω、10000Ω≤0.3%±1字 | 整機(jī)測量大相對誤差 | (用硅標(biāo)樣片：0.01-180Ω.cm測試)≤±4% | 整機(jī)測量標(biāo)準(zhǔn)不確定度 | ≤4% | 測試標(biāo)準(zhǔn) | 采用雙電測測試標(biāo)準(zhǔn),，通過RTS-9雙電測測試軟件控制四探針測試儀進(jìn)行測量并實(shí)時(shí)采集兩次組合模式下的電壓值,，然后根據(jù)雙電測測試原理公式計(jì)算出電阻值。儀器主機(jī)也可兼容RTS-8四探針測試軟件實(shí)現(xiàn)單電測測試標(biāo)準(zhǔn),，兩套軟件可同時(shí)使用,。 | 軟件功能 | 軟件可記錄、保存、打印每一點(diǎn)的測試數(shù)據(jù),，并統(tǒng)計(jì)分析測試數(shù)據(jù)大值,、小值、平均值,、大百分變化,、平均百分變化、徑向不均勻度,、并將數(shù)據(jù)生成直方圖,，也可把測試數(shù)據(jù)輸出到Excel中，對數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析,。軟件還可選擇自動測量功能,，根據(jù)樣品電阻大小自動選擇適合電流量程檔測試。 | 計(jì)算機(jī)通訊接口 | 并口,，高速并行采集數(shù)據(jù),。 | 標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境 | 溫度：23±2℃；
相對濕度：≤65%,；
無高頻干擾,；
無強(qiáng)光直射； |
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