四探針電阻率測(cè)定儀  貨號(hào)：ZH221 

嚴(yán)格按照硅片電阻率測(cè)量的標(biāo)準(zhǔn)（ASTM F84）及標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)制造,，并針對(duì)目前常用的四探針電阻率測(cè)試儀存在的問題加以改進(jìn)

是用來(lái)測(cè)量半導(dǎo)體材料（主要是硅單晶,、鍺單晶,、硅片）電阻率,，以及擴(kuò)散層,、外延層,、ITO導(dǎo)電箔膜、導(dǎo)電橡膠方塊電阻的測(cè)量?jī)x器,。它主要由電氣測(cè)量部份（簡(jiǎn)稱：主機(jī)）,、測(cè)試架及四探針頭組成。

本儀器的特點(diǎn)是主機(jī)配置雙數(shù)字表,，在測(cè)量電阻率的同時(shí),，另一塊數(shù)字表（以萬(wàn)分之幾的精度）適時(shí)監(jiān)測(cè)程的電流變化，免除了測(cè)量電流/測(cè)量電阻率的轉(zhuǎn)換,，及時(shí)掌控測(cè)量電流,。主機(jī)還提供精度為0.05%的恒流源，使測(cè)量電流高度穩(wěn)定,。本機(jī)配有恒流源開關(guān),，在測(cè)量某些箔層材料時(shí)，可免除探針尖與被測(cè)材料之間接觸火花的發(fā)生,，好地保護(hù)箔膜,。儀器配置了本公司的產(chǎn)品：“小游移四探針頭”，探針游移率在0.1～0.2%,。了儀器測(cè)量電阻率的重復(fù)性和準(zhǔn)確度,。本機(jī)如加配HQ-710E數(shù)據(jù)處理器，測(cè)量硅片時(shí)可自動(dòng)進(jìn)行厚度,、直徑,、探針間距的修正，并計(jì)算,、打印出硅片電阻率,、徑向電阻率的zui大百分變化、平均百分變化,、徑向電阻率不均習(xí)庋,。給測(cè)量帶來(lái)很大方便。

主機(jī)能數(shù)

測(cè)量范圍：

可測(cè)電阻率：0.0001～19.9999cm

可測(cè)方塊電阻：0.0001～1000Ωcm

恒流源：

輸出電流：DC 0.001～100mA 五檔連續(xù)可調(diào)

量程：0.001～0.01mA

0.01～0.10mA

0.10～1.0mA

1.0～10mA

10～100mA

恒流精度：檔均低于±0.05%

直流數(shù)字電壓表：

測(cè)量范圍：0～19.999mV

靈敏度：1μV

基本誤差：±（0.004%讀數(shù)+0.01%滿度）

輸出電源：≥1000ΩM

供電電源：

AC 220V±10% 50/60 Hz 功率：12W

使用環(huán)境：

溫度：23±2℃ 相對(duì)濕度：≤65%

較強(qiáng)的電場(chǎng)干擾,，強(qiáng)光直接照射

重量,、體積：

主機(jī)重量：7.5kg

體積：365×380×160（單位：mm 長(zhǎng)度×寬度×高度）

四探針頭 

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

使用幾何尺寸的紅寶石軸套，確保探針間距的恒定,、準(zhǔn)確,。

控制寶石內(nèi)孔與探針之間的縫隙不大于6μｍ,，探針的小游移率。

采用的S型懸臂式彈簧,，使每根探針都具有立,、準(zhǔn)確的壓力。

量具精度的硬質(zhì)合金探針,，在寶石導(dǎo)孔內(nèi)穩(wěn)定運(yùn)動(dòng),，持久耐磨。

用途

測(cè)量硅,、鍺單晶（棒料,、晶片）電阻率，測(cè)定硅外延層,、擴(kuò)散層和離子注入層的方塊電阻,。

測(cè)量導(dǎo)電玻璃（ITO）和其它導(dǎo)電薄膜的方塊電阻。

探針間距

直線四探針…………… 1.00mm,、1.27mm,、1.59mm

方形四探針…………… 1.00mm

直線三探針…………… 1.00mm、1.27mm,、1.59mm

兩探針    …………… 1.00mm,、1.59mm、4.76mm,、10.00mm

指標(biāo)

游移率   

       B…………… ＜0.5%

       A……………＜0.3%

       AA………… ＜0.2%

       AAA…………＜0.1%

間距偏差  

        B…………… ＜3%

        A…………… ＜2%

        AA…………  ＜2%

        AAA………… ＜1%

zui大針與導(dǎo)孔間隙：0.006mm

探針材料：硬質(zhì)合金（主成份：進(jìn)口碳化鎢）或高速鋼

探針壓力  標(biāo)準(zhǔn)壓力：6—10N（4根針總壓力）

          小壓力：1.2—5N（4根針總壓力）     

          1牛頓（N）=101.97克

針尖壓痕直徑：25—100μｍ,、100—250μｍ（簿層）

500V緣電阻：＞1000MΩ 

四探針手動(dòng)測(cè)試架

產(chǎn)品簡(jiǎn)介 

支架尺寸：

豎測(cè)高度：500mm

臺(tái)面：200×300mm/240×380mm

特點(diǎn)：

主于測(cè)棒、塊,。

注：其它尺寸可按要求訂做

四探針手動(dòng)測(cè)試架  

產(chǎn)品簡(jiǎn)介 

支架尺寸：

豎測(cè)高度：120mm

臺(tái)面：200×300mm

特點(diǎn)：

主于測(cè)片,。