一,、特點(diǎn)
1、 使用幾何尺寸%,，的紅寶石軸套,，確保探針間距的恒定、準(zhǔn)確,。
2,、 控制寶石內(nèi)孔與探針之間的縫隙不大于6μｍ，，探針的小游移率,。
3、 采用的S型懸臂式彈簧,，使每根探針都具有%立,、準(zhǔn)確的壓力。
4,、 量具精度的硬質(zhì)合金探針,，在寶石導(dǎo)孔內(nèi)穩(wěn)定運(yùn)動(dòng)，持久耐磨,。
二,、用途
1、 測(cè)量硅,、鍺單晶（棒料,、晶片）電阻率，測(cè)定硅外延層,、擴(kuò)散層和離子注入層的方塊電阻,。
2、 測(cè)量導(dǎo)電玻璃（ITO）和其它導(dǎo)電薄膜的方塊電阻,。
三,、探針間距
1、 直線四探針…………… 1.00mm,、1.27mm,、1.59mm
2、 方形四探針…………… 1.00mm
3,、 直線三探針…………… 1.00mm,、1.27mm、1.59mm
4,、 兩探針    …………… 1.00mm,、1.59mm、4.76mm,、10.00mm
四,、，指標(biāo)
1,、 游移率  
                   B,，…………… ＜0.5%
                   A，……………＜0.3%
                   AA,，………… ＜0.2%
                   AAA,，…………＜0.1%
2、 間距偏差 
                   B,，…………… ＜3%
                   A,，…………… ＜2%
                   AA,，…………  ＜2%
                   AAA，………… ＜1%
3,、 ,，針與導(dǎo)孔間隙：0.006mm
4、 探針材料：硬質(zhì)合金（主成份：進(jìn)口碳化鎢）或高速鋼
5,、 探針壓力      標(biāo)準(zhǔn)壓力：6—10N（4根針總壓力）小壓力：1.2—5N（4根針總壓力）    1牛頓（N）=101.97克
6,、 針尖壓痕直徑：25—100μｍ、100—250μｍ（簿層）
7,、 500V,，緣電阻：＞1000MΩ