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科學(xué),、工業(yè)和商業(yè)領(lǐng)域的用戶通常采用光譜法分析材料中的不同成分,。在許多情況下，主要和次要元素濃度的精確測(cè)定是至關(guān)重要的,。

在傳統(tǒng)觀念當(dāng)中,，常常采用波長(zhǎng)色散型X射線熒光光譜儀做這些應(yīng)用，因?yàn)槠淇梢蕴峁┧璧木芏?。而能量色散型X射線熒光光譜儀常常被認(rèn)為只能做定性半定量的分析,，應(yīng)用到快篩分析，比如RoHS檢測(cè),、固廢回收等領(lǐng)域,。

但事實(shí)上，能量色散型X射線熒光光譜儀經(jīng)過這么多年的發(fā)展,，其精密度已經(jīng)能與WD-XRF相媲美,。特別是SPECTRO分析儀器公司的SPECTRO XEPOS光譜儀。

SPECTRO XEPOS配備強(qiáng)制風(fēng)冷式的50W端窗X射線管,，針對(duì)最大能量產(chǎn)生進(jìn)行了優(yōu)化,。該X射線管配備了厚度、鈷鈀二元合金靶材為主要感興趣元素提供了良好的激發(fā)條件,。再者,，搭配直接激發(fā)、偏振激發(fā)和通帶濾光片光路系統(tǒng),，針對(duì)特定元素進(jìn)一步激發(fā),，提高了靈敏度,。

圖1. SPECTRO 激發(fā)光路系統(tǒng)

我們使用SPECTRO XEPOS對(duì)地質(zhì)礦物樣品（采用熔片法制樣）進(jìn)行7天35次分析，結(jié)果如下表顯示,。

重復(fù)性試驗(yàn)結(jié)果顯示,，就算是Na、Mg,、Al,、Si等這些“輕"元素，在能量色散型X熒光光譜儀中常常被認(rèn)為測(cè)不好的元素,，其精密度都是非常高的,。

表1.  7天重復(fù)性試驗(yàn)的分析結(jié)果

通過測(cè)試，SPECTRO XEPOS具備高精密度與準(zhǔn)確性,，其性能與WD-XRF相當(dāng),，也能滿足實(shí)際的高精度分析的測(cè)試需求。