X射線熒光光譜儀具有重現(xiàn)性好，測量速度快,，靈敏度高的特點,。能分析B(5)~U(92)之間所有元素,。樣品可以是固體,、粉末、熔融片,，液體等,，分析對象適用于煉鋼、有色金屬,、水泥,、陶瓷,、石油、玻璃等行業(yè)樣品,。
優(yōu)點：
分析的元素范圍廣,，從4Be到92U均可測定；
熒光X射線譜線簡單,，相互干擾少,，樣品不必分離，分析方法比較簡便,；
分析濃度范圍較寬,從常量到微量都可分析,。重元素的檢測限可達ppm量級，輕元素稍差,。
基本原理
熒光,，顧名思義就是在光的照射下發(fā)出的光。X射線熒光就是被分析樣品在X射線照射下發(fā)出的X射線,，它包含了被分析樣品化學組成的信息,，通過對上述X射線熒光的分析確定被測樣品中各組份含量的儀器就是X射線熒光分析儀。
從原子物理學的知識我們知道,，對每一種化學元素的原子來說,，都有其特定的能級結構，其核外電子都以各自*的能量在各自的固定軌道上運行,，內層電子在足夠能量的X射線照射下脫離原子的束縛,，成為自由電子，我們說原子被激發(fā)了,，處于激發(fā)態(tài),，這時，其他的外層電子便會填補這一空位,，也就是所謂躍遷,，同時以發(fā)出X射線的形式放出能量。由于每一種元素的原子能級結構都是特定的,，它被激發(fā)后躍遷時放出的X射線的能量也是特定的,，稱之為特征X射線。通過測定特征X射線的能量,，便可以確定相應元素的存在,，而特征X射線的強弱（或者說X射線光子的多少）則代表該元素的含量。
量子力學知識告訴我們,，X 射線具有波粒二象性,，既可以看作粒子，也可以看作電磁波?？醋髁Ｗ訒r的能量和看作電磁波時的波長有著一一對應關系,。這就是的普朗克公式：E=hc/λ。顯然,，無論是測定能量,，還是波長，都可以實現(xiàn)對相應元素的分析,，其效果是一樣的,。樣品不被破壞，分析快速,，準確,，便于自動化。
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