鎢燈絲掃描電鏡總發(fā)射電流和束斑都較大,，抗干擾能力和穩(wěn)定性都較好,，低真空下可以對不導(dǎo)電樣品無荷電成像，可用于形貌觀察、顯微結(jié)構(gòu)分析,、斷口形貌分析,，在材料、地質(zhì),、礦產(chǎn),、冶金、機(jī)械,、化學(xué),、化工、物理,、電子、生物,、醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域都有廣泛的用途,。
工作原理：
通過對電子槍內(nèi)的鎢燈絲加高電壓，使電子槍處于熱激發(fā)狀態(tài),，在陽極作用下,，處于熱激發(fā)的電子槍就可以激發(fā)出電子束。經(jīng)過掃描線圈磁場的控制,，電子束在樣品表面逐點(diǎn)掃描,，激發(fā)出二次電子、背散射電子等物理信號(hào),，經(jīng)探測器收集,、放大器放大后，調(diào)制得圖像,。鎢燈絲掃描電鏡適合大量的常規(guī)檢測,。
送樣要求：
1.欲測試的樣品必須符合SEM測試要求，樣品要求盡可能要小且干燥無可揮發(fā)成分,、無磁性,，多孔類與易潮解類樣品請?zhí)崆罢婵崭稍锾幚恚?/div>
2.樣品必須牢固粘貼于樣品臺(tái)上、并吹掃去除未粘貼和不牢固樣品;對不導(dǎo)電塊體類樣品通常需要嗩涂〔Au,、C）測試,；
3.原則上禁止做在強(qiáng)電子束流下易分解的樣品；
4.試樣如果含有水或者油等易揮發(fā)物質(zhì)必須給出注明,；
5.若試樣易燃,、易爆、有毒,必須提示,，以便采取相應(yīng)的處理措施,。
影響鎢燈絲掃描電鏡分辨率的因素？
1,、電子束的實(shí)際直徑,；電子束的直徑減小,，分辨率提高，但是實(shí)際直徑小到一定程度時(shí),，很難激發(fā)出足夠的信號(hào),。所以理想的電子束需要尺寸小而且束流大。
2,、電子束在試樣中的散射,；電子束進(jìn)入試樣后，受到試樣對電子的散射,，從而電子束直徑變寬,，降低了分辨率，這種散射效應(yīng)取決于加速電壓的大小和試樣本身的性質(zhì),。
3,、信號(hào)噪聲比。噪聲來源于兩個(gè)方面：點(diǎn)噪聲,、統(tǒng)計(jì)漲落噪聲,。提高信噪比可以：
①提高信號(hào)電流
②采用長的幀掃描時(shí)間
③減少像元數(shù)目，但是會(huì)降低圖像的清晰度,。故提高信噪比的有效途徑是提高電子束的亮度或適當(dāng)延長幀掃描的時(shí)間,。
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