1.電阻

10^-6～2×10^5Ω

2.方塊電阻

10^-6～2×10^5Ω/□

3.電阻率

10-7～2×106Ω-cm

4.測試電流

1A,、100mA、10mA,、1mA,、100uA、10uA,、1uA,、0.1uA

5.電流精度

±0.1%

6.電阻精度

≤0.3%

7.PC軟件操作

PC軟件界面：電阻、電阻率,、電導率,、方阻、溫度,、單位換算,、電流、電壓,、探針形狀,、探針間距、厚度 ,、數據管理分析：過程數據,，大、小值,，均值,，方差，變異系數,，樣品編號,，測試點數統(tǒng)計報表生成等。

8.探針范圍選購：

探針壓力為100-550g,；依據樣品接觸需要手動調節(jié)

9.探針

針間絕緣電阻：≥1000MΩ,；機械游移率：≤0.3%

圓頭銅鍍金材質，探針間距1mm,；2mm,；3mm選配，其他規(guī)格可定制。

10.可測晶片

尺寸選購

晶圓尺寸：2-12寸（6寸150mm,，12寸300mm）,；

方形片：大至156mm X 156mm 或125mm X 125mm

11.分析模式

自動或手動單點模式

12.加壓方式

測量重復性：重復性≤3%

13.防護功能

具有限位量程和壓力保護;誤操作和急停防護;異常警報。

14.測試環(huán)境

實驗室環(huán)境

15.電源

輸入: AC 220V±10%.50Hz 功 耗：<100W

16.選購項目

電腦和打印機