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SC100-SE勻膠機(jī)是SmartCoater100系列勻膠機(jī)的一種基本型號(hào)。SmartCoater100系列勻膠機(jī)還包括：分體式,、嵌入式,、型等。
SC100勻膠機(jī)被設(shè)計(jì)為涂膠處理小碎片至8英寸圓晶尺寸底物,，使用工業(yè)級(jí)長(zhǎng)壽命馬達(dá)和控制器，我們勻膠機(jī)設(shè)定標(biāo)準(zhǔn)為高可靠性,、高重復(fù)性和高精度,。
應(yīng)用范圍：
※ 勻膠處理
※ 顯影處理
※ 清洗和干燥
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
北京泰諾鑫源科技有限公司（http://www.tenoyo。,。ｃｏｍ）專業(yè)生產(chǎn)銷售實(shí)驗(yàn)儀器設(shè)備,。EasyCoater和SmartCoater系列勻膠機(jī)、烤膠機(jī),、提拉鍍膜機(jī),、電解雙噴減薄儀、低溫恒溫設(shè)備等實(shí)驗(yàn)室設(shè)備,，公司技術(shù)力量雄厚,、工藝裝備*、制造經(jīng)驗(yàn)豐富,、產(chǎn)品質(zhì)量可靠,、售后服務(wù)周到，在信譽(yù)上深受用戶信賴,。
SC100-SE勻膠機(jī)SmartCoater100系列高精密勻膠機(jī)主要性能指標(biāo)：
主機(jī)機(jī)箱采用不銹鋼材料（抗化學(xué)腐蝕易清潔）
旋涂程序：zui多可存100組程序,，每組100步，每個(gè)步驟可精確到0.1秒
轉(zhuǎn)動(dòng)速度：0-10,000rpm（更高速可選）
旋涂加速度：0-50,000rpm/sec（空載）
馬達(dá)旋涂轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性能誤差 < ±1rpm
轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度<1rpm,，重復(fù)性< 1rpm
工藝時(shí)間設(shè)定： 0-3,000 sec/step,，時(shí)間設(shè)置精度：0.1sec
支持wafer尺寸1cm-200mm（8”圓晶）
旋涂作業(yè)均勻性：< ±3% 在6英寸范圍內(nèi)（需要去除邊緣3毫米區(qū)域測(cè)量）
SC100-SE勻膠機(jī)SmartCoater100系列高精密勻膠機(jī) 產(chǎn)品特性優(yōu)點(diǎn)：
的內(nèi)部緊湊設(shè)計(jì)，縮小了設(shè)備的尺寸,。
7"觸屏控制面板操作系統(tǒng),，更方便操作。
on ®/polyethylene “密閉碗”設(shè)計(jì)可適合各種材料勻膠工藝,。
標(biāo)準(zhǔn)配置轉(zhuǎn)速10000rpm,，并可根據(jù)用戶需要進(jìn)行定制,。
采用工業(yè)級(jí)別伺服電機(jī)，電機(jī)設(shè)計(jì)避免光刻膠等污染物進(jìn)入電機(jī)內(nèi)部,。
機(jī)身選用耐酸堿,、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼,，*生銹,，便于清洗。
排風(fēng)和抽氣系統(tǒng)位計(jì)于載片臺(tái)之底部 （以利于排風(fēng)效率和勻膠均一性）,。
透明可視,，耐化學(xué)腐蝕的密封蓋，可以在旋涂作業(yè)時(shí)*隔絕光阻的溢出及有效隔絕有毒氣味的散發(fā),。
SC100-SE勻膠機(jī)SmartCoater100系列高精密勻膠機(jī)產(chǎn)品外型尺寸：
433mm(D) * 306mm(W) * 306mm(H) – 標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備結(jié)構(gòu)
306mm(D) * 306mm(W) * 306mm(H) – 可選分體結(jié)構(gòu)
使用客戶：中科院半導(dǎo)體所南京大學(xué)上海理工大學(xué)南京郵電大學(xué)中科院物理所中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)北京航天九院清華大學(xué)易美芯光（北京）科技有限公司等,。
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北京泰諾鑫源科技有限公司（http://www.tenoyo。,。ｃｏｍ/）主要產(chǎn)品EasyCoater和SmartCoater系列勻膠機(jī),、烤膠機(jī)、提拉鍍膜機(jī),、電解雙噴減薄儀,、低溫恒溫設(shè)備等。隨著生命科學(xué)行業(yè)的蓬勃發(fā)展,，諾源儀器也將迎來(lái)新的機(jī)遇和挑戰(zhàn),，我們將一如既往地向著目標(biāo)努力：致力于成為*的實(shí)驗(yàn)室集成供應(yīng)商。我司歡迎您的,。
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企業(yè)： 2019490697
為創(chuàng)造,，提高企業(yè)度，樹(shù)立企業(yè)形象,，我們本著“一切追求高質(zhì)量,，用戶滿意為宗旨”的精神，以“*惠的價(jià)格,、zui周到的服務(wù),、zui可靠的產(chǎn)品質(zhì)量”的原則向您鄭重承諾：產(chǎn)品保修期為一十二個(gè)月，在保修期內(nèi)供方將免費(fèi)維修和更換屬質(zhì)量原因造成的零部件損壞,，保修期外零部件的損壞,，提供的配件只收成本費(fèi)，由需方人為因素造成的設(shè)備損壞,，供方維修或提供的配件均按成本價(jià)計(jì),。