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HMDS真空烘箱產(chǎn)品性能特點(diǎn)：

1）設(shè)備外殼采用醫(yī)用級(jí)不銹鋼316L不銹鋼材質(zhì)制作,，內(nèi)膽為不銹鋼316L材料制成,；采用C型不銹鋼加熱管,均勻分布在內(nèi)膽外壁，內(nèi)膽內(nèi)無(wú)任何電氣配件及易燃易爆裝置；采用鋼化,、防彈雙層玻璃觀察窗,便于觀察工作室內(nèi)物品實(shí)驗(yàn)情況,。
2）箱門(mén)閉合松緊能調(diào)節(jié)，整體成型的硅橡膠門(mén)封圈,，確保箱內(nèi)保持高真空度,。
3） 采用微電腦PID控制,系統(tǒng)具有自動(dòng)控溫,定時(shí),超溫報(bào)警等,采用LCD液晶顯示,觸摸式按鈕,簡(jiǎn)單易用,性能穩(wěn)定，智能化觸摸屏控制系統(tǒng)配套日本三菱PLC模塊可供用戶(hù)根據(jù)不同制程條件改變程序,、溫度,、真空度及每一程序時(shí)間。

5）HMDS氣體密閉式自動(dòng)吸取添加設(shè)計(jì),，使真空箱密封性能*,，確保HMDS氣體無(wú)外漏顧慮。
6）整個(gè)系統(tǒng)采用優(yōu)質(zhì)醫(yī)用級(jí)316L不銹鋼材料制作,，無(wú)發(fā)塵材料,，適用百級(jí)光刻間凈化環(huán)境。

HMDS系列預(yù)處理系統(tǒng)的原理：
HMDS預(yù)處理系統(tǒng)通過(guò)對(duì)烘箱HMDS預(yù)處理過(guò)程的工作溫度,、處理時(shí)間,、處理時(shí)保持時(shí)間等參數(shù)可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS,，降低了HMDS處理后的硅片接觸角,，降低了光刻膠的用量，提高光刻膠與硅片的黏附性,。

HMDS系列預(yù)處理系統(tǒng)的一般工作流程：
首先確定烘箱工作溫度,。典型的預(yù)處理程序?yàn)椋捍蜷_(kāi)真空泵抽真空，待腔內(nèi)真牢度達(dá)到某一高真空度后,，開(kāi)始充入氮?dú)?，充到某低真空度后，再次進(jìn)行抽真空,、充入氮?dú)獾倪^(guò)程,，到達(dá)設(shè)定的充入氮?dú)獯螖?shù)后，開(kāi)始保持一段時(shí)間,，使硅片充分受熱,，減少硅片表面的水分。然后再次開(kāi)始抽真空,，充入HMDS氣體,，在到達(dá)設(shè)定時(shí)間后，停止充入HMDS藥液,，進(jìn)入保持階段,，使硅片充分與HMDS反應(yīng),。當(dāng)達(dá)到設(shè)定的保持時(shí)間后，再次開(kāi)始抽真空,。充入氮?dú)?，完成整個(gè)作業(yè)過(guò)程。HMDS與硅片反應(yīng)機(jī)理如圖：首先加熱到100℃-200℃,，去除硅片表面的水分，然后HMDS與表面的OH一反應(yīng),，在硅片表而生成硅醚,，消除氫鍵作，從而使極性表面變成非極性表面,。整個(gè)反應(yīng)持續(xù)到空間位阻（*基硅烷基較大）阻止其進(jìn)一步反應(yīng),。

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