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中級(jí)會(huì)員 | 第4年

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三維輪廓儀該怎么正確保養(yǎng)

時(shí)間:2022/11/11閱讀:1291
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三維輪廓儀是一種用于表面結(jié)構(gòu)測(cè)量和表面形貌分析的測(cè)量和計(jì)量設(shè)備,。它不僅可以用于科學(xué)研究,,還可以用于工業(yè)產(chǎn)品的檢測(cè),,該儀器可被視為表面研究的萬用表,。它利用接觸和非接觸功能的設(shè)計(jì)特點(diǎn),彌補(bǔ)了兩種模式的局限性,,發(fā)揮了表面形貌儀的測(cè)量極限,。光學(xué)非接觸式具有速度快、直接三維成像,、對(duì)樣品無損傷等特點(diǎn),。探針接觸模式方便快捷,樣品制備簡(jiǎn)單,,測(cè)量材料廣泛,。兩種模式結(jié)合使用,可用于研究更多形狀,、性質(zhì)和材料的樣品的表面形態(tài),。

 1、三維表面結(jié)構(gòu):粗糙度,、波浪度,、表面結(jié)構(gòu)、缺陷分析,、晶粒分析等,。
  
  2、二維圖像分析:距離,、半徑,、斜率,、網(wǎng)格、輪廓等,。
  
  3,、表面和界面測(cè)量:透明表面形態(tài),薄膜厚度,,透明薄膜下的表面,。
  
  4、薄膜和厚膜的階梯高度的測(cè)量,。
  
  5,、劃痕形態(tài)、摩擦和磨損深度,、寬度和體積的定量測(cè)量,。
  
  6、微電子表面分析和MEMS表征,。
  
  三維輪廓儀是一種自動(dòng)測(cè)量設(shè)備,。在測(cè)量表面輪廓時(shí),操作者需要先安裝好輪廓模塊,,然后安裝好待測(cè)工件,,在驗(yàn)證軟件上設(shè)置好掃描的開始和結(jié)束位置,點(diǎn)擊"開始"按鈕,,測(cè)量針會(huì)自動(dòng)接觸工件表面,,并按照設(shè)定的位置進(jìn)行掃描;在輪廓掃描過程中,,軟件界面會(huì)實(shí)時(shí)繪制輪廓曲線,;掃描結(jié)束后,操作者可以通過輪廓分析工具分析生成的輪廓曲線,,得到直線度,、圓度、角度,、距離和間距等輪廓參數(shù),。
  
  三維輪廓儀的維護(hù)說明。
  
  1,、測(cè)量結(jié)束后,,退出系統(tǒng),關(guān)閉電腦,,切斷電源,。
  
  2、測(cè)量結(jié)束后,用棉花和航空汽油清潔工作臺(tái)和夾具,,并涂上防銹油,。
  
  3、注意儀器附件的防銹,。
  
  4,、定期清洗導(dǎo)軌(具體周期視環(huán)境而定),保證導(dǎo)軌的精度,。


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