三坐標測量機是一種測量儀器，三坐標測量機的組成分為了好幾部分,。主要包括了以下幾部分：
三坐標測量機可分為主機、測頭,、電氣系統(tǒng)三大部分
主機結(jié)構(gòu)分為：
1,、框架，是指測量機的主體機械結(jié)構(gòu)架子,。它是工作臺,、立柱、橋框,、殼體等機械結(jié)構(gòu)的集合體,；
2、標尺系統(tǒng),，是測量機的重要組成部分,，是決定儀器精度的一個重要環(huán)節(jié)。三坐標測量機所用的標尺有線紋尺,、精密絲桿,、感應同步器、光柵尺,、磁尺及光波波長等,。該系統(tǒng)還應包括數(shù)顯電氣裝置。
3,、導軌,，是測量機實現(xiàn)三維運動的重要部件。測量機多采用滑動導軌,、滾動軸承導軌和氣浮導軌,，而以氣浮靜壓導軌為主要形式。氣浮導軌由導軌體和氣墊組成,，有的導軌體和工作臺合二為一,。氣浮導軌還應包括氣源,、穩(wěn)壓器、過濾器,、氣管,、分流器等一套氣體裝置。
4,、驅(qū)動裝置,，是測量機的重要運動機構(gòu)，可實現(xiàn)機動和程序控制伺服運動的功能,。在測量機上一般采用的驅(qū)動裝置有絲桿絲母,、滾動輪、鋼絲,、齒形帶,、齒輪齒條、光軸滾動輪等傳動,，并配以伺服馬達驅(qū)動,。直線馬達驅(qū)動正在增多。
5,、平衡部件,，主要用于Z軸框架結(jié)構(gòu)中。它的功能是平衡Z軸的重量,，以使Z軸上下運動時無偏得干擾,，使檢測時Z向測力穩(wěn)定。如更換Z軸上所裝的測頭時,，應重新調(diào)節(jié)平衡力的大小,，以達到新的平衡。Z軸平衡裝置有重錘,、發(fā)條或彈簧,、氣缸活塞桿等類型。
6,、轉(zhuǎn)臺與附件,，轉(zhuǎn)臺是測量機的重要元件，它使測量機增加一個轉(zhuǎn)動運動的自由度,，便于某些種類零件的測量,。轉(zhuǎn)臺包括分度臺、單軸回轉(zhuǎn)臺,、萬能轉(zhuǎn)臺（二軸或三軸）和數(shù)控轉(zhuǎn)臺等,。用于坐標測量機的附件很多，視需要而定,。一般指基準平尺,、角尺,、步距規(guī)、標準球體（或立方體）,、測微儀及用于自檢的精度檢測樣板等,。
