真空系統(tǒng)的作用是獲取質(zhì)譜過程所需的真空，同時(shí)完成被檢件的抽空和氦氣的引入,。真空系統(tǒng)一般由分子泵,、機(jī)械泵、電磁閥和真空計(jì)組成組成,。按照真空系統(tǒng)的不同結(jié)構(gòu),，檢漏儀分為常規(guī)系統(tǒng)和逆擴(kuò)散兩種。常規(guī)系統(tǒng)多用于早期的氦質(zhì)譜檢漏儀,，該種檢漏儀的被檢件與高真空部分直接相通,，由被檢件泄入的氮?dú)馐紫鹊竭_(dá)質(zhì)譜管被檢到,，因而具有較高的靈敏度,，但是會(huì)對(duì)質(zhì)譜管有污染。逆擴(kuò)散系統(tǒng)檢漏儀與常規(guī)系統(tǒng)相比,，被檢件只與低真空相通,，因此只需將被檢工件抽至低真空就能進(jìn)行檢漏，氦氣是逆擴(kuò)散到質(zhì)譜管,，不會(huì)對(duì)系統(tǒng)有污染,，因此被廣泛采用,，已成為市場(chǎng)的主流的產(chǎn)品。

機(jī)械泵的工作方式不一樣,，分為干泵檢漏儀和油泵檢漏儀,，油泵工作會(huì)有油霧排出，污染工作環(huán)境,，干泵沒有油霧排出對(duì)工作環(huán)境沒有影響,。在半導(dǎo)體潔凈車間都是使用干泵檢漏儀。

泉州鋒云檢測(cè)設(shè)備有限公司 是一家集科研,、設(shè)計(jì),、生產(chǎn)、維修,、銷售和系統(tǒng)集成為一體的高新技術(shù)工廠,，是已在各大地區(qū)和網(wǎng)絡(luò)平臺(tái)有核心分銷商。憑借在自動(dòng)化領(lǐng)域的專業(yè)水平和成熟的技術(shù),，在氣密性檢測(cè)儀,，密封性檢測(cè)設(shè)備領(lǐng)域迅速崛起。 依靠科技求發(fā)展,，不斷為用戶提供滿意的高科技產(chǎn)品,，是我們始終不變的追求。在充分引進(jìn)吸收技術(shù)的基礎(chǔ)上,，已成功開發(fā)出全密封性檢測(cè)儀,，現(xiàn)有分低壓、中壓,、高壓,、負(fù)壓、正壓系列產(chǎn)品,。檢測(cè)模式有壓降式,、直壓式、差壓式,、抽真空等治具方案,，并已廣泛應(yīng)用于汽車、化工,、工件,、供水、電子,、機(jī)械領(lǐng)域氣密性檢測(cè)儀,、氣密性檢漏儀 、防水測(cè)試儀,、密封性檢漏設(shè)備高精度氣密性檢測(cè)設(shè)備,。