光束質(zhì)量指激光束的橫向和縱向斑點(diǎn)大小,、斑點(diǎn)大小比、橫向和縱向輻射角以及相干度等參數(shù),。光束質(zhì)量的好壞對激光束在光學(xué)系統(tǒng)中的傳輸效果和加工質(zhì)量有很大的影響,。因此,光束質(zhì)量分析儀在激光系統(tǒng)的應(yīng)用中具有重要的意義,。
激光束分析儀用于確定激光束的質(zhì)量,。激光束分析儀測量光束輪廓、平均功率,、每脈沖能量,、頻率和時間脈沖形狀,。許多激光束分析儀都是便攜式的,使它們能夠在制造或研究環(huán)境中用于多個激光器,。
激光光束質(zhì)量是激光器的一個重要技術(shù)指標(biāo),,它是整個光束在空間中傳播的特征。該參數(shù)可由多個測量技術(shù)在傳播光束的幾個點(diǎn)上進(jìn)行測量,。該標(biāo)準(zhǔn)定義了幾種測量技術(shù),,所有這些技術(shù)都是基于使用CCD、刀口和狹縫等設(shè)備進(jìn)行的光束輪廓測量,。
測量的主要要求有兩點(diǎn):一是聚焦光束的測量,,二是準(zhǔn)直激光的測量。對于后者,,基本的工作原理是通過透鏡聚焦入射的激光束,,在其相對的兩側(cè)形成一個腰部位置和一個發(fā)散光束。通過多次掃描和計(jì)算0焦點(diǎn)處的束腰和瑞利長度遠(yuǎn)場發(fā)散,,可以確定M2測量的準(zhǔn)確值,。
光束質(zhì)量分析儀是測量激光光束的強(qiáng)度截面的裝置。光束質(zhì)量分析儀(光束分析儀,,模式分析儀)是一種診斷裝置,,可以測量激光光束的整個光強(qiáng)截面,即不僅能測量光束半徑還可以測量得到細(xì)節(jié)形狀,。
光束質(zhì)量分析儀是一種診斷裝置,,可以測量激光光束的整個光強(qiáng)截面,即不僅能測量光束半徑還可以測量得到細(xì)節(jié)形狀,??梢杂糜谝韵路矫妫憾ㄐ越o出光束截面可以用于激光的對準(zhǔn),而測量光軸不同位置處的光束半徑可以計(jì)算 M2因子或者光束參量乘積,,定性表征光束質(zhì)量,。
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