激光功率計能量計是用來測試連續(xù)激光的功率或者脈沖激光在某一段時間的平均功率的儀器,。常用到激光能量計,用來探測重復脈沖激光的單發(fā)能量和單脈沖激光的能量,。Ophir的熱電堆型激光功率計通過熱電堆結構將光能轉換成熱量,,再轉換為電信號輸出,通過校準來準確測量激光功率的大小,。一般由探頭和顯示設備組成,,激光功率計探頭按照不同的原理和材料分為熱電堆型(thermal)、光電二極管型(PD:Photodiode),、以及包含兩種傳感器的綜合探頭(RP),,激光能量計則有熱釋電傳感器(PE:Pyroelectric)和熱電堆(Thermal)傳感器探頭。
激光功率計能量計常見的探頭類型:
a.光電二極管探頭
光電二極管的結構通常是1個PN結,,中間是本征層,,也稱之為耗盡層或耗盡區(qū),入射的光子在耗盡區(qū)激發(fā)自由電子和空穴,,并引導它們分別向兩極運動,,從而產生光電流。表征光電二極管時,,我們會用到量子效率,,這里其實是指內部量子效率,即產生的電子數(shù)與進入載荷子區(qū)的光子數(shù)之比,,用于確定光電二極管的性能,。光電二極管的響應度,對應外部量子效率,,即產生的電子數(shù)與所有到達二極管表面的光子數(shù)之比,,包括因表面反射或吸收而沒有進入載荷子區(qū)的光子,所以一般內部量子效率高于外部量子效率,。
b.熱敏探頭
熱敏探頭先將光子能量轉化成熱量,,再轉化成電流。熱敏功率探頭基于熱電效應(亦稱為塞貝克效應):金屬或合金的一端受熱時會釋放電子,,電子會朝著較冷的一端移動,,這是一種只要存在溫度差就會產生的現(xiàn)象,產生于金屬之間,。
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