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世界*集材料生長,、器件制備,、測試分析為一體的納米領域大科學裝置——納米真空互聯(lián)綜合實驗站正在我國江蘇蘇州工業(yè)園區(qū)建設。這個實驗站相當于在太空建設了一個全真空的納米器件研發(fā)平臺,。
正在建設中的這個納米實驗站是目前世界上zui大的真空互聯(lián)科研裝置,。其總體方案是：用總長近500米的超高真空管道，將上百臺用于材料生長,、器件制備、測試分析的大型儀器設備互聯(lián),，實現(xiàn)樣品在不同設備之間傳送時其表面不被氧化,、沾污，不被外界大氣環(huán)境所破壞,。中科院蘇州納米技術與納米仿生研究所研究員,、納米真空互聯(lián)實驗站常務副總指揮丁孫安說，實驗站通過超高空間分辨,、時間分辨,、能量分辨、質量分辨等的能力儀器設備,，對物質的“本征性質”進行研究,，從而實現(xiàn)量子材料的設計、制備和表征,，后摩爾時代器件加工和測試分析,，同時開展新材料、新工藝,、新結構和新功能的開發(fā)和研究,，以及形成第三代半導體工藝包。
“這個實驗裝置是在類似太空的全真空環(huán)境下的納米器件研發(fā)平臺,，相當于把現(xiàn)有的加工設備統(tǒng)一搬到太空,。”丁孫安說。
納米真空互聯(lián)實驗站是依托中科院蘇州納米所,，聯(lián)合清華大學薛其坤院士團隊,、中科院大連化學物理研究所包信和院士團隊建設的,。一期建設由中科院、江蘇省,、蘇州市和蘇州工業(yè)園區(qū)共建,，預計2018年建成，建設經(jīng)費3.2億元,。一期建成后將連接30多臺設備,，形成100米的真空管道。整個實驗站的總預算是15億元,。
蘇州工業(yè)園區(qū)是納米領域具有代表性的八大產(chǎn)業(yè)區(qū)域之一,。中科院納米所所長楊輝說，在此建設納米真空互聯(lián)實驗站,，是力圖通過真空條件下的互聯(lián)集成和若干重大項目驗證,，突破現(xiàn)有儀器設備的功能限制，實現(xiàn)材料制備,、測試分析與微納加工工藝等方面協(xié)同效應,，為科研和戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)發(fā)展提供先進的、開放性的平臺,。
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