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C-25X型4英寸/6英寸單面光刻機精密光刻設(shè)備主要用途：

 本機針對各大專院校、企業(yè)及科研單位,。對光刻機使用特性研發(fā)的一種高精度的光刻機,，三層減震，組合式,，拆卸方便,。

 它主要用于中小規(guī)模集成電路、半導(dǎo)體元器件,、光電子器件,、聲表面波器件、薄膜電路,、電力電子器件的研制和生產(chǎn),，適合硅片、玻璃片,、陶瓷片,、銅片、不銹鋼片,、寶石片的曝光,，而且也適合易碎片如:砷化鉀、磷化銦的曝光以及非圓形基片和小型基片的曝光,。

C-25X型4英寸/6英寸單面光刻機精密光刻設(shè)備主要性能指標(biāo)：

1. 多種版夾盤

C-25X200型4英寸光刻機有四種版夾盤,能真空吸附5" ×5"或4" ×4"或3" ×3"或2.5" ×2.5"方形掩板,。對版的厚度無特殊要求（1～4mm皆可）。

C-25X200型6英寸光刻機有六種版夾盤,能真空吸附7" ×7"或6" ×6"或5" ×5"或4" ×4"或3" ×3"或2.5" ×2.5"方形掩板,。對版的厚度無特殊要求（1～4mm皆可）,。

2. 真空吸附基片的“承片臺"

C-25X200型4英寸光刻機設(shè)有相對應(yīng)的真空吸附基片的“承片臺"三個，分別適用于φ2,、φ3,、φ4片。對于非標(biāo)準(zhǔn)片或碎片,，只要堵塞相應(yīng)的小孔,，同樣能真空吸附。

C-25X200型6英寸光刻機設(shè)有相對應(yīng)的真空吸附基片的“承片臺"五個,，分別適用于φ2,、φ3、φ4,、φ5,、φ6片。對于非標(biāo)準(zhǔn)片或碎片,，只要堵塞相應(yīng)的小孔,，同樣能真空吸附。

3. 照明

光源：采用GCQ350Z型超高壓水銀直流汞燈。

照明范圍：≤ф100mm

不均勻性：ф100mm內(nèi)±3%

可使用的波長：g線,、h線,、I線的組合。根據(jù)用戶要求,，可增加I線濾光片,。

成象面照明：光照度10～15毫瓦/厘米2,任意可調(diào)(出廠時,照明度調(diào)在10mw/cm2)。

曝光分辨率:1μm

對準(zhǔn)精度： 1μm

套刻精度： 1μm

4. 采用進口時間繼電器（該繼電器可從0.1秒∽999.9秒預(yù)設(shè)）控制氣動快門,，動作準(zhǔn)確可靠,。

5. 該機為接觸式曝光機,，但可實現(xiàn)：

硬接觸曝光：用管道真空來獲得高真空接觸,。真空≤-0.05MPa。

軟接觸曝光：接觸壓力可將真空降到-0.02MPa ～ -0.05MPa之間,。

微力接觸曝光：小于軟接觸,。真空≥-0.02MPa。

6. 分辯率估計

如果用戶的“版",、“片"精度符合國家規(guī)定,，環(huán)境、溫度,、濕度,、塵埃得到嚴(yán)格控制，采用進口正性光刻膠,，且勻膠厚度得到嚴(yán)格控制,。加之前后工藝優(yōu)良的話，硬接觸曝光的最小分辨度可達1μm以上

7. 對準(zhǔn)

觀察系統(tǒng)為兩個單筒顯微鏡上裝二個CCD攝像頭,，通過視屏線連接到顯視屏上,。

a.單筒顯微鏡為0.7X～4.5X連續(xù)變倍顯微鏡（也可為1.6X～10X）。

b.CCD攝像機靶面對角線尺寸為：1/3,，（6mm）;

c.采用19"液晶監(jiān)視器,，其數(shù)字放大倍率為19÷1/3=57倍；

d.觀察系統(tǒng)放大倍數(shù)為：0.7×57≈40倍（最小倍數(shù)）,，4.5×57≈256倍（最大倍數(shù)）或（91倍～570倍）,。

對準(zhǔn)臺：（采用片動，版不動方式）

X,、Y調(diào)整：±5mm,。

θ調(diào)整：轉(zhuǎn)角≤5°

對準(zhǔn)間隙（分離間隙）0～5mm任意可調(diào)。

整個對準(zhǔn)臺相對于顯微鏡可作±20mm掃描運動,。

“接觸,、分離"20μm情況下，片相對于版的“漂移量"，可調(diào)到≤±0.5μm,。

8. 設(shè)備所需能源：

主機電源： 220V±10%   50HZ

潔凈空氣≥0.4MPα,。

真空：-0.07～－0.08MPα。

9. 尺寸和重量：

尺寸：機體720 mm（長）×720 mm（寬）×882mm（高）,。

重量：≤100Kg,。

機體放在專用工作臺上。

工作臺:1100 mm（長）×750 mm（寬）×645 mm（高）,。

高度可調(diào)范圍0～30mm,。

重量50Kg（工作臺后側(cè)裝有電氣部分）。

總重量≤200Kg

10. C-25X200型光刻機的組成

主機

主機（含機體和工作臺）

對準(zhǔn)用單筒顯微鏡

蠅眼曝光頭

附件

主機附件

3"□型掩版夾盤

4"□型掩版夾盤（出廠時安裝到機器上）

用于2"基片的真空夾持承片臺,。

用于3"基片的真空夾持承片臺（出廠時安裝到機器上）

（若需特殊的基片承片臺,，訂貨時用戶提出）

顯微鏡組成

單筒顯微鏡二個

兩個CCD

視頻連接線。

計算機和22"液晶監(jiān)視器,。