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ZP3-4微納探針臺可在納米尺度上對樣品和測試設(shè)備進行電學(xué)表征。

• 產(chǎn)品參數(shù)

△ 探針數(shù)量：4個探頭,，每個探頭配備一個三軸探針臂;自由度：每個探頭獨立驅(qū)動（X,、Y,、Z三自由度）;

△ 運動：壓電驅(qū)動；

△ 步進速度：2 mm/s（X,，Y,，Z）；

△ 運動范圍：20x20mm（X,，Y）,，10mm（Z）；

△ 運動分辨率：1 nm （X,、Y）,，10nm （Z）；

△ 探針規(guī)格：針柄直徑為0.51mm（0.020’’）;

• 產(chǎn)品優(yōu)勢

△ 快速,、準(zhǔn)確,、穩(wěn)定

ZP3-4微納探針臺包含4個壓電三軸探針臂，每個三軸配備1個可拆卸式電學(xué)探針接口,，可在毫米級尺度上進行宏觀運動并實現(xiàn)納米尺度上的微觀運動,。

△ 使用場景多樣化

ZP3-4微納探針臺結(jié)構(gòu)緊湊，占用空間小,，運動行程大,，可匹配各種顯微鏡樣品臺，真空室,，光學(xué)試驗臺等工作條件,。

△ 完善的技術(shù)解決方案

ZP3-4微納探針臺與尼康金相顯微鏡/SR-Scopel集成形成的探針臺電學(xué)測量系統(tǒng)，為宏觀行程上進行的微觀尺度電學(xué)及表征測量提供了具體的解決方案,。

△ 直觀,、方便

ZP3-4微納探針臺通過手柄控制，具有多級宏觀調(diào)速,，脈沖運動,，以及位移微調(diào)功能，宏觀運動速度跨度在5um/s~2mm/s,，單點脈沖步進可達300nm以下,，微調(diào)運動分辨率小于1nm，在顯微鏡下操作更直觀,，方便,，準(zhǔn)確。

△ 高度集成

ZP3-4微納探針臺電學(xué)測量系統(tǒng),，配備完善的光學(xué)顯微鏡模塊,，配備亮度調(diào)節(jié)，增益和變焦等功能，與電腦連接后,，可實現(xiàn)圖像快照,，尺寸測量和標(biāo)注，視頻記錄等常規(guī)功能,。