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     與MEMS傳感器一樣,，毛細管傳感器也是采用層流元件來產(chǎn)生壓差，使小部分流量進入旁路管道,。而主要區(qū)別在于：毛細管傳感器不與介質(zhì)直接接觸,。兩個溫度相關(guān)的電阻纏繞在不銹鋼毛細管上，構(gòu)成半個惠斯頓電橋,。當氣體流過毛細管時,，就會帶走一部分熱量，流向為從R₁ 至R₂.這時,，R₁ 的阻值下降,，而R₂的阻值 上升。如果給電橋提供恒定的電流,，其輸出電壓就與這兩個電阻的差值成正比,。因此該輸出電壓與流過的氣體的質(zhì)量流量成線性關(guān)系。其線性關(guān)系甚至使該傳感器可用于未經(jīng)標定的氣體,；通過采用一個轉(zhuǎn)換因子當前因子對當前介質(zhì)的測量進行修正,。這樣就可簡化標定,，同時正確選擇傳感器材質(zhì)可確保毛細管傳感器適用于腐蝕性氣體。

    該傳感器的動態(tài)特性取決于不銹鋼毛細管的管壁特性,，它起著熱障的作用,。的響應(yīng)時間通常為幾秒，適用于大多數(shù)腐蝕性或毒性氣體,。