X熒光光譜儀有多種，以能量色散和波長色散兩類為主,。

1．能量色散熒光光譜儀

能量色散法是將X射線激發(fā)被測所有元素的熒光簡單過濾后,，全部進(jìn)入到檢測器中，利用儀器和軟件來分出其中的光譜,。如測的為元素周期表中相鄰的兩個(gè)元素,，會因光譜重疊而產(chǎn)生測量誤差。能量色散型儀器zui大的優(yōu)點(diǎn)是不破壞被測的材料或產(chǎn)品,，也不需要專業(yè)人員操作,，缺點(diǎn)是對鉻和溴是總量測定（一般不影響使用，因?yàn)楹芏嗲闆r可以判定,，如測鉻總量超標(biāo),，常可知是不是六價(jià)鉻超標(biāo),，特別是溴,，如被作為阻燃劑加入,，不管是那種溴，總量超標(biāo)就不合格）,。

2．波長色散熒光光譜儀,。

波長法是因其激發(fā)出的熒光足夠強(qiáng)，進(jìn)到儀器中用來分析的光譜是單一元素（“過濾”了不需測的元素）,，不含其它元素的光譜,，所以測量數(shù)據(jù)很準(zhǔn)確。這種儀器的靈敏度比能量色散型高一個(gè)數(shù)量級,，也就是說,，所測的數(shù)據(jù)并不存在“灰色地域”，不存在測定后還需拿到檢測機(jī)構(gòu)復(fù)檢,。缺點(diǎn)是,，波長法需將被測材料粉碎壓制成樣本后測才準(zhǔn)確。所以,，用在材料廠,。如不制成樣本（非破壞），會因材料表面形狀不同而產(chǎn)生不同誤差,。儀器操作也不需要專業(yè)人員,。