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一,、摘要
虹潤(rùn)NHR-5400系列60段人工智能溫控器適用于需要進(jìn)行高精度多段曲線程序升/降溫控制的系統(tǒng),它可根據(jù)生產(chǎn)過(guò)程的要求,,按照一定的曲線進(jìn)行控制,,多可分59段曲線對(duì)象進(jìn)行編程控制,每一段均采用PID參數(shù)設(shè)定控制,,使控制更為可靠,,方便靈活的曲線控制功能,可實(shí)時(shí)監(jiān)控曲線程序段的運(yùn)行時(shí)間和狀態(tài),,多種事件輸入功能,。通過(guò)多種曲線控制輸出功能,可實(shí)現(xiàn)曲線控制暫停,、曲線控制清零,、曲線控制步進(jìn)等功能,并可實(shí)現(xiàn)手/自動(dòng)無(wú)擾動(dòng)切換,。
二,、產(chǎn)品的市場(chǎng)背景
單晶爐是一種在惰性氣體(氮?dú)狻⒑鉃橹?環(huán)境中,用石墨加熱器將多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生長(zhǎng)無(wú)錯(cuò)位單晶的設(shè)備,。單晶爐需要控制的內(nèi)容包含晶體的直徑,、溫度(功率)、原料(硅料),、泄漏率和氬氣質(zhì)量等,,其中溫度控制好壞直接影響到是否成為晶體的關(guān)鍵因素。虹潤(rùn)自主開(kāi)發(fā)的虹潤(rùn)NHR-5400系列60段人工智能溫控器在單晶爐的溫度控制中發(fā)揮著重要的作用,。
三,、產(chǎn)品的主要技術(shù)原理
1、軟件采用人工智能控制算法,,通過(guò)上電自動(dòng)跟蹤測(cè)量值變化,,根據(jù)時(shí)間和所設(shè)定控制值的函數(shù)關(guān)系分段實(shí)現(xiàn)溫度的升溫、保溫和降溫的溫度調(diào)節(jié),。
2,、根據(jù)編程的生產(chǎn)工藝曲線,,可實(shí)現(xiàn)曲線的步進(jìn)、跳轉(zhuǎn),、停止,、清零等功能。
3,、產(chǎn)品在整個(gè)單晶路溫度調(diào)節(jié)中主要負(fù)責(zé)溫度的控制,。
四、產(chǎn)品的應(yīng)用
虹潤(rùn)NHR-5400系列60段人工智能溫控器在單晶路溫度控制原理圖見(jiàn)下圖:
電路說(shuō)明:交流電源經(jīng)變壓器降壓后使用,,輸出電壓25V,,輸出電流28A、MJYD-JL-75為晶閘管智能模塊,,內(nèi)含晶閘管和移相控制電路,,輸出大電壓450V,大電流7,,L1為過(guò)流保護(hù)熔斷器,,RSV為過(guò)壓保護(hù)阻容元件。RW為電爐絲,。
NHR-5400輸出為0-10MA電流,,經(jīng)過(guò)1K電阻后,輸出變?yōu)?-10V直流電壓,,滿足晶閘管模塊的輸入電壓要求,。
主要控制設(shè)備:虹潤(rùn)NHR-5400系列60段人工智能溫控器
輔助設(shè)備:熱電偶、可控硅,、固態(tài)繼電器,、過(guò)壓保護(hù)阻容器件等
根據(jù)單晶爐溫度控制的特點(diǎn),虹潤(rùn)NHR-5400系列60段人工智能溫控器設(shè)定工藝曲線如下:
按照上述的設(shè)定參數(shù)試驗(yàn)控制效果ji佳,,控制精度可達(dá)±0.5°C,。
產(chǎn)品圖片:
五、結(jié)束語(yǔ)
采用虹潤(rùn)NHR-5400系列60段人工智能溫控器作為主核心控制系統(tǒng)以來(lái),,碲鎘汞單晶爐的控制運(yùn)行狀況良好,,至今仍*出現(xiàn),*可以替代進(jìn)口的控制儀表,。無(wú)論從運(yùn)行實(shí)際狀況來(lái)看,,還是從性價(jià)比來(lái)看,選擇NHR-5400確實(shí)能夠*要求,。
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