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半導(dǎo)體體積電阻率測(cè)試儀
參考價(jià)：10000元
廠商性質(zhì)：3
所在地：北京市
發(fā)布時(shí)間：2019/8/1 21:38:31
瀏覽次數(shù)：3695
ATI-1000S型高溫半導(dǎo)體體積電阻率測(cè)試儀主要用于半導(dǎo)體材料導(dǎo)電性能的評(píng)估和測(cè)試,，該系統(tǒng)采用四線電阻法測(cè)量原理進(jìn)行設(shè)計(jì)開發(fā)，可以在高溫,、真空氣氛的條件下測(cè)量半導(dǎo)體材料電阻和電阻率,，可以分析被測(cè)樣品電阻和電阻率隨溫度、時(shí)間變化的曲線,。半導(dǎo)體體積電阻率測(cè)試儀目前主要針對(duì)圓片,、方塊、長條等測(cè)試樣品進(jìn)行測(cè)試,，可以廣泛用于半導(dǎo)體材料硅（si）,、鍺（ge）,化合物半導(dǎo)體材料砷化鎵(GaAs)、銻化銦（InSb）,，三元化合物半導(dǎo)體GaAsAl,、GaAsP，固溶體半導(dǎo)體,，如Ge-Si,、GaAs-GaP等的塊體材料的電阻率測(cè)量等材料的電阻率測(cè)量。
溫度范圍：RT-1000℃
升溫斜率：0-10℃/min (典型值：3℃/min)
控溫精度：±0.5℃
電阻測(cè)量范圍：0.1mΩ~1MΩ
電阻率測(cè)量范圍：100nΩ..cm~100KΩ .cm
測(cè)量環(huán)境：惰性氣氛,、還原氣氛,、真空氣氛
測(cè)量方法：四線電阻法
測(cè)試通道：單通道
樣品尺寸：10mmx10mmX20mm或φ＜20mm ,d＜5mm
電極材料：上電極半圓型鉑金電極，下電極平板型鉑金電極
絕緣材料：99氧化鋁陶瓷
數(shù)據(jù)存儲(chǔ)格式：TXT文本格式
數(shù)據(jù)傳輸：USB
符合標(biāo)準(zhǔn)：ASTM
供電：220V±10%,，50Hz
工作溫度：5℃ 至 + 40 ℃,；
存儲(chǔ)溫度：–40 ℃ 至 +65 ℃
工作濕度：+40 ℃ 時(shí)，相對(duì)濕度高達(dá) 95%（無冷凝）
設(shè)備尺寸：400x450x580mm
重量：38kg
■ 高溫爐膛,、測(cè)量夾具,、測(cè)量軟件等集成于一體,，讓操作變得更加簡單，測(cè)量精度則會(huì)更高,；
■ 觸摸屏控制和顯示,，同時(shí)支持外接鍵盤和鼠標(biāo)操作，滿足多樣化需求,；
■ ATI電阻率測(cè)量軟件兼容世界主流儀表Keithley 2400,，擴(kuò)展應(yīng)用更加方便；
■ 可以實(shí)現(xiàn)常溫,、高溫,、真空、氣氛條件下測(cè)量半導(dǎo)體材料的電學(xué)性能,；
■ 專業(yè)的測(cè)量軟件，可以測(cè)量半導(dǎo)體材料的方塊電阻和電阻率,；
■ 進(jìn)口纖維一體開模鑄造的高溫爐膛,，高耐溫1100℃；
■ 內(nèi)膽采用進(jìn)口金屬材料,，耐高溫,、抗氧化，可實(shí)現(xiàn)常溫,、高溫,、真空、流動(dòng)氣氛等多種試驗(yàn)環(huán)境下的電學(xué)測(cè)量,；
■ 為了減小高溫下導(dǎo)線受電爐絲的交流信號(hào)干擾而建立了金屬屏蔽罩,，有效減小外部信號(hào)的干擾和增加測(cè)試頻率帶寬；
■ 采用九點(diǎn)控溫法,，以傳感器為中心點(diǎn),，其半徑20mm的圓環(huán)上均勻鋪設(shè)八個(gè)溫度采集點(diǎn)，九個(gè)溫度點(diǎn)范圍內(nèi)采集到的溫度大溫差為1℃,，此范圍為樣品測(cè)試的佳溫區(qū),；
■ 彈簧夾具設(shè)計(jì)，彈簧的可壓縮性既不損傷樣品又能實(shí)現(xiàn)樣品的良好接觸,；
■ 上電極半球狀+下電極平板狀結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),，可以精確定位測(cè)量被測(cè)樣品某一點(diǎn)；
■ 控溫和測(cè)溫采用同一個(gè)傳感器,，保證樣品每次采集的溫度都是樣品實(shí)際溫度,；
■ 采用九點(diǎn)控溫法，九個(gè)溫度點(diǎn)范圍內(nèi)采集到的溫度大溫差為1℃,，此范圍為樣品測(cè)試的佳溫區(qū),；
■ 電極支撐和屏蔽采用進(jìn)口合金材質(zhì),，利用葉片設(shè)計(jì)可以很好解決因平臺(tái)帶來的熱弛豫影響；
■ 可以測(cè)量半導(dǎo)體材料的方塊電阻,、電阻率,，實(shí)現(xiàn)常溫、變溫,、恒溫條件的I-V,、R-T、R-t等測(cè)量功能,；
■ 操作簡單,，功能強(qiáng)大的測(cè)量軟件，可以通過輸入樣品的面積和厚度,，軟件自動(dòng)計(jì)算樣品的電阻率ρv,；
■ 智能化控制，可自動(dòng)調(diào)節(jié)施加在樣品的測(cè)試電壓,，以防樣品擊穿,；
■ 采用新的RAM嵌入式開發(fā)平臺(tái)，可以進(jìn)行在線升級(jí),、遠(yuǎn)程協(xié)助及故障診斷,；
■ 測(cè)量軟件*設(shè)計(jì)；
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