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介電常數(shù)常用測(cè)量方法綜述
閱讀:2805發(fā)布時(shí)間:2020-5-21
在設(shè)計(jì)電路,、天線,、電容器等過(guò)程中經(jīng)常會(huì)涉及所用材料的介電常數(shù),所以深入了解介電常數(shù)的相關(guān)概念對(duì)實(shí)際工作有重要意義。介電常數(shù)測(cè)量技術(shù)在民用,,工業(yè)以及軍事等各個(gè)領(lǐng)域應(yīng)用廣泛,。本文主要對(duì)介電常數(shù)測(cè)量的常用方法進(jìn)行了綜合論述。首先對(duì)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行了對(duì)比總結(jié),;然后分別論述了幾種常用測(cè)量方法的基本原理、適用范圍,、優(yōu)缺點(diǎn)及發(fā)展近況,;后對(duì)幾種測(cè)量方法進(jìn)行了對(duì)比總結(jié),得出結(jié)論,。
1.引言
介電常數(shù)是物體的重要物理性質(zhì),,對(duì)介電常數(shù)的研究有重要的理論和應(yīng)用意義,。電氣工程中的電介質(zhì)問(wèn)題、電磁兼容問(wèn)題,、生物醫(yī)學(xué),、微波、電子技術(shù),、食品加工和地質(zhì)勘探中,,無(wú)一不利用到物質(zhì)的電磁特性,對(duì)介電常數(shù)的測(cè)量提出了要求,。目前對(duì)介電常數(shù)測(cè)量方法的應(yīng)用可以說(shuō)是遍及民用,、工業(yè)、國(guó)防的各個(gè)領(lǐng)域,。
在食品加工行業(yè)當(dāng)中,,儲(chǔ)藏、加工,、滅菌,、分級(jí)及質(zhì)檢等方面都廣泛采用了介電常數(shù)的測(cè)量技術(shù)。例如,,通過(guò)測(cè)量介電常數(shù)的大小,,新鮮果蔬品質(zhì)、含水率,、發(fā)酵和干燥過(guò)程中的一些指標(biāo)都得到間接體現(xiàn),,此外,根據(jù)食品的介電常數(shù),、含水率確定殺菌時(shí)間和功率密度等工藝參數(shù)也是重要的應(yīng)用之一[1],。
在路基壓實(shí)質(zhì)量檢測(cè)和評(píng)價(jià)中,如果利用常規(guī)的方法,,盡管測(cè)量結(jié)果比較準(zhǔn)確,,但工作量大、周期長(zhǎng),、速度慢且對(duì)路面造成破壞,。由于土體的含水量、溫度及密度都會(huì)對(duì)其介電特性產(chǎn)生不同程度的影響,,因此可以采用雷達(dá)對(duì)整個(gè)區(qū)域進(jìn)行測(cè)試以反算出介電常數(shù)的數(shù)值,,通過(guò)分析介電性得到路基的密度及壓實(shí)度等參數(shù),達(dá)到快速測(cè)量路基的密度及壓實(shí)度的目的[2],。此外,,復(fù)介電常數(shù)測(cè)量技術(shù)還在水土污染的監(jiān)測(cè)中得到了應(yīng)用[3]。并且還可通過(guò)對(duì)巖石介電常數(shù)的測(cè)量對(duì)地震進(jìn)行預(yù)報(bào)[4]。
上面說(shuō)的是介電常數(shù)測(cè)量在民用方面的部分應(yīng)用,,其在工業(yè)上也有重要的應(yīng)用,。典型的例子有低介電常數(shù)材料在超大規(guī)模集成電路工藝中的應(yīng)用以及高介電常數(shù)材料在半導(dǎo)體儲(chǔ)存器件中的應(yīng)用。在集成電路工藝中,,隨著晶體管密度的不斷增加和線寬的不斷減小,,互聯(lián)中電容和電阻的寄生效應(yīng)不斷增大,傳統(tǒng)的絕緣材料二氧化硅被低介電常數(shù)材料所代替是必然的,。目前AppliedMaterials的BlackDiamond作為低介電常數(shù)材料,,已經(jīng)應(yīng)用于集成電路的商業(yè)化生產(chǎn)[5]。在半導(dǎo)體儲(chǔ)存器件中,,利用高介電常數(shù)材料能夠解決半導(dǎo)體器件尺寸縮小而導(dǎo)致的柵氧層厚度極限的問(wèn)題,,同時(shí)具備特殊的物理特性,可以實(shí)現(xiàn)具有特殊性能的新器件[6],。在軍事方面,,介電常數(shù)測(cè)量技術(shù)也廣泛應(yīng)用于雷達(dá)和各種特殊材料的制造與檢測(cè)當(dāng)中。
對(duì)介電常數(shù)測(cè)量技術(shù)的應(yīng)用可以說(shuō)是不勝枚舉,。介電常數(shù)的測(cè)量技術(shù)已經(jīng)廣泛應(yīng)用于民用,、工業(yè)和國(guó)防各個(gè)領(lǐng)域,并且有發(fā)展的空間和必要性,。我們對(duì)測(cè)量介電常數(shù)的方法進(jìn)行總結(jié),,能更清晰的認(rèn)識(shí)測(cè)量方法的現(xiàn)狀,為某些應(yīng)用提供一種可能適合的方法,,是有一定理論和工程應(yīng)用意義的,。
2.介電常數(shù)測(cè)量方法綜述
介電常數(shù)的測(cè)量按材質(zhì)分類(lèi)可以分為對(duì)固體、液體,、氣體以及粉末(顆粒)的測(cè)量[7],。固體電介質(zhì)在測(cè)量時(shí)應(yīng)用廣泛,通??梢苑譃閷?duì)固定形狀大小的固體和對(duì)形狀不確定的固體的測(cè)量,。相對(duì)于固體,液體和氣體的測(cè)試方法較少,。對(duì)于液體,,可以采用波導(dǎo)反射法測(cè)量其介電常數(shù),誤差在5%左右[8],。此外國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)中給出了在90℃,、工頻條件下測(cè)量液體損耗角正切及介電常數(shù)的方法[9]。對(duì)于氣體,,具體測(cè)試方法少且精度都不十分高,。文獻(xiàn)[10]中給出一種測(cè)量方法,,以測(cè)量共振頻率為基礎(chǔ),在LC串聯(lián)諧振電路中產(chǎn)生震蕩,,利用數(shù)字頻率計(jì)測(cè)量諧振頻率,不斷改變壓強(qiáng)和記錄當(dāng)前壓強(qiáng)下諧振頻率,,后用作圖或者一元線性回歸法處理數(shù)據(jù),,得到電容變化率進(jìn)而計(jì)算出相對(duì)介電常數(shù)。
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