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ICP-MS全稱是電感耦合等離子體-質(zhì)譜法(Inductively coupled plasma-Mass  Spectrometry)它是一種將ICP技術(shù)和質(zhì)譜結(jié)合在一起的分析儀器，它能同時(shí)測定幾十種痕量無機(jī)元素,，可進(jìn)行同位素分析、單元素和多元素分析,，以及有機(jī)物中金屬元素的形態(tài)分析,。

1、原理

（1）在ICP-MS中,，ICP起到離子源的作用,，ICP利用在電感線圈上施加強(qiáng)大功率的高頻射頻信號(hào)在線圈內(nèi)部形成高溫等離子體，并通過氣體的推動(dòng),，保證了等離子體的平衡和持續(xù)電離,，被分析樣品由蠕動(dòng)泵送入霧化器形成氣溶膠，由載氣帶入等離子體焰炬中心區(qū)，發(fā)生蒸發(fā),、分解,、激發(fā)和電離。高溫的等離子體使大多數(shù)樣品中的元素都電離出一個(gè)電子而形成了一價(jià)正離子,。

（2）通過ICP-MS的接口將等離子體中的離子有效傳輸?shù)劫|(zhì)譜儀,；

（3）質(zhì)譜是一個(gè)質(zhì)量篩選和分析器，通過選擇不同質(zhì)核比（m/z）的離子通過來檢測到某個(gè)離子的強(qiáng)度,，進(jìn)而分析計(jì)算出某種元素的強(qiáng)度,。

2、結(jié)構(gòu)

（1）電感耦合等離子體：樣品引入系統(tǒng),；離子源

（2）接口：采樣錐,；截取錐

（3）質(zhì)譜：離子透鏡系統(tǒng)；四級(jí)桿離子過濾器,；檢測器

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