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技術(shù)文章

真空干燥箱如何正確的選擇真空泵,?

閱讀:2435          發(fā)布時(shí)間:2022-9-21

真空泵是真空干燥箱的必須品之一,,客戶選用真空泵時(shí),,需要注意下列事項(xiàng):

1、真空泵的工作壓強(qiáng)應(yīng)該滿足真空設(shè)備的極限真空及工作壓強(qiáng)要求,。如:真空鍍膜要求110-5mmHa的真空度,,選用的真空泵的真空度至少要510-6mmHa。通常選擇泵的真空度要高于真空設(shè)備真空度半個(gè)到一個(gè)數(shù)量級(jí),。

2,、正確地選擇真空泵的工作點(diǎn)。每種泵都有一定的工作壓強(qiáng)范圍,,如:擴(kuò)散泵為10-3~10-7mmHg,,在這樣寬壓強(qiáng)范圍內(nèi),泵的抽速隨壓強(qiáng)而變化,,其穩(wěn)定的工作壓強(qiáng)范圍為510-4~510-6mmHg,。因而,泵的工作點(diǎn)應(yīng)該選在這個(gè)范圍之內(nèi),,而不能讓它在10-8mmHg下長(zhǎng)期工作,。又如鈦升華泵可以在10-2mmHg下工作,但其工作壓強(qiáng)應(yīng)小于110-5mmHg為好,。

3,,真空泵在其工作壓強(qiáng)下,應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過(guò)程中產(chǎn)生的全部氣體量

4,、正確地組合真空泵,。由干真空泵有選擇性抽氣,因而,,有時(shí)選用一種泵不能滿足抽氣要求,,需要幾種泵組合起來(lái),互相補(bǔ)充才能滿足抽氣要求,。如鈦升華泵對(duì)氫有很高的抽速,,但不能抽氦,而三極型濺射離子泵,,(或二極型非對(duì)稱陰極測(cè)射離子泵)對(duì)氙有一定的抽速,,兩者組合起來(lái),便會(huì)使真空裝苦得到較好的真空度,。另外,,有的真空泵不能在大氣壓下下作,需要

預(yù)真空;有的真空泵出口壓強(qiáng)低于大氣壓,,需要前級(jí)泵,,故都需要把泵組合起來(lái)使用。

5,、真空設(shè)備對(duì)油污染的要求,。若設(shè)備嚴(yán)格要求無(wú)油時(shí),應(yīng)該選各種無(wú)油泵,,如;水環(huán)泵,,分子篩吸附泵,濺射離子泵,低溫泵等,。如果要求不嚴(yán)格,,可以選擇有油泵,加上一些防油污

染措施,,如加冷阱,、障板、擋油阱等,,也能達(dá)到清潔真空要求,。

6.了解被抽氣體成分,氣體中含不含可凝蒸氣,,有無(wú)顆?;覊m,有無(wú)腐蝕性等,。選擇真空泵時(shí),,需要知道氣體成分,針對(duì)被抽氣體選擇相應(yīng)的泵,、如果氣體中含有蒸氣,,顆粒,及腐蝕

性氣體,,應(yīng)該考慮在泵的進(jìn)氣口管路上安裝輔助設(shè)備,,如冷凝器、除塵器等,。

7,、真空泵排出來(lái)的油蒸氣對(duì)環(huán)境的影響如何。如果環(huán)境不允許有污染,,可以選無(wú)油真空泵,,或者把油蒸氣排到室外。

8,、真空泵工作時(shí)產(chǎn)生的振動(dòng)對(duì)工藝過(guò)程及環(huán)境有無(wú)影響,,若工藝過(guò)程不允許,應(yīng)選擇無(wú)振動(dòng)的泵或者采取防振動(dòng)措施,。

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