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真空泵是真空干燥箱的必須品之一,，客戶選用真空泵時，需要注意下列事項:

1,、真空泵的工作壓強(qiáng)應(yīng)該滿足真空設(shè)備的極限真空及工作壓強(qiáng)要求,。如:真空鍍膜要求110-5mmHa的真空度，選用的真空泵的真空度至少要510-6mmHa,。通常選擇泵的真空度要高于真空設(shè)備真空度半個到一個數(shù)量級,。

2、正確地選擇真空泵的工作點,。每種泵都有一定的工作壓強(qiáng)范圍,，如:擴(kuò)散泵為10-3~10-7mmHg，在這樣寬壓強(qiáng)范圍內(nèi),，泵的抽速隨壓強(qiáng)而變化,，其穩(wěn)定的工作壓強(qiáng)范圍為510-4~510-6mmHg。因而,，泵的工作點應(yīng)該選在這個范圍之內(nèi),，而不能讓它在10-8mmHg下長期工作。又如鈦升華泵可以在10-2mmHg下工作,，但其工作壓強(qiáng)應(yīng)小于110-5mmHg為好,。

3，真空泵在其工作壓強(qiáng)下,，應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量

4,、正確地組合真空泵,。由干真空泵有選擇性抽氣，因而,，有時選用一種泵不能滿足抽氣要求,，需要幾種泵組合起來，互相補(bǔ)充才能滿足抽氣要求,。如鈦升華泵對氫有很高的抽速,，但不能抽氦，而三極型濺射離子泵,，(或二極型非對稱陰極測射離子泵)對氙有一定的抽速,，兩者組合起來，便會使真空裝苦得到較好的真空度,。另外,，有的真空泵不能在大氣壓下下作，需要

預(yù)真空;有的真空泵出口壓強(qiáng)低于大氣壓,，需要前級泵,，故都需要把泵組合起來使用。

5,、真空設(shè)備對油污染的要求,。若設(shè)備嚴(yán)格要求無油時，應(yīng)該選各種無油泵,，如;水環(huán)泵,，分子篩吸附泵，濺射離子泵,，低溫泵等,。如果要求不嚴(yán)格，可以選擇有油泵,，加上一些防油污

染措施,，如加冷阱、障板,、擋油阱等,，也能達(dá)到清潔真空要求。

6.了解被抽氣體成分,，氣體中含不含可凝蒸氣,，有無顆粒灰塵,，有無腐蝕性等,。選擇真空泵時，需要知道氣體成分,，針對被抽氣體選擇相應(yīng)的泵,、如果氣體中含有蒸氣,，顆粒，及腐蝕

性氣體,，應(yīng)該考慮在泵的進(jìn)氣口管路上安裝輔助設(shè)備,，如冷凝器、除塵器等,。

7,、真空泵排出來的油蒸氣對環(huán)境的影響如何。如果環(huán)境不允許有污染,，可以選無油真空泵,，或者把油蒸氣排到室外。

8,、真空泵工作時產(chǎn)生的振動對工藝過程及環(huán)境有無影響,，若工藝過程不允許，應(yīng)選擇無振動的泵或者采取防振動措施,。