等離子體原子發(fā)射光譜儀是一種以電感耦合高頻等離子體為光源的原子發(fā)射光譜裝置,。由高頻發(fā)生器,、等離子炬管,、進(jìn)樣系統(tǒng)、分光系統(tǒng),、測光系統(tǒng)和數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)組成,。
等離子炬管置于耦合線圈中心,內(nèi)通冷卻氣,、輔助氣和載氣,,高頻發(fā)生器向耦合線圈提供高頻能量,在炬管中產(chǎn)生高頻電磁場,。用微電火花引燃,讓部分氬氣電離,,產(chǎn)生電子和離子,。電子在高頻電磁場中獲得高能量,通過碰撞把能量轉(zhuǎn)移給氬原子,,使之進(jìn)一步電離,,產(chǎn)生更多的電子和離子。當(dāng)該過程像雪崩一樣進(jìn)行時,,導(dǎo)電氣體受高頻電磁場作用,,形成一個與耦合線圈同心的渦流區(qū)。強大的電流產(chǎn)生的高熱把氣體加熱,,從而形成火炬形狀的可以自持的等離子體,。
等離子體焰炬分為三個區(qū)域:感應(yīng)區(qū),、標(biāo)準(zhǔn)分析區(qū)和尾焰區(qū)。感應(yīng)區(qū)在耦合線圈中心,,溫度達(dá)10000K,;標(biāo)準(zhǔn)分析區(qū)位于感應(yīng)區(qū)上方,這是光譜分析的取光區(qū)(或稱測光區(qū)),,溫度達(dá)7000K左右,;尾焰區(qū)在標(biāo)準(zhǔn)分析區(qū)上方。
由于高頻電流的趨膚效應(yīng),,等離子體呈環(huán)狀,。試樣氣溶膠通過的是溫度較低的中心通道,因此不易擴(kuò)散到ICP火焰周圍而形成產(chǎn)生自吸的冷蒸氣層,。
試樣由載氣帶入霧化系統(tǒng)進(jìn)行霧化,,以氣溶膠形式進(jìn)入軸內(nèi)通道,在高溫和惰性氬氣氣氛中,,氣溶膠微粒被充分蒸發(fā),、原子化、激發(fā)和電離,。被激發(fā)的原子和離子發(fā)射出很強的原子譜線和離子譜線,。分光檢測系統(tǒng)和數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)將各元素發(fā)射的特征譜線及其強度經(jīng)過分光、光電轉(zhuǎn)換,、檢測和數(shù)據(jù)處理,,zui后由打印機(jī)輸出各元素的含量。
在ICP光譜儀中,,元素的光譜定量分析的依據(jù)與火焰發(fā)射光譜法相同,。