激光光譜原位分析儀(LIBSOPA-100)是激光誘導(dǎo)擊穿光譜分析技術(shù)（LIBS）和原位統(tǒng)計(jì)分布分析技術(shù)（OPA）結(jié)合的新型分析儀器,。激光誘導(dǎo)擊穿光譜原位統(tǒng)計(jì)分布分析技術(shù)(LIBSOPA)通過(guò)高能激光聚焦于樣品表面,，樣品被擊穿形成高溫等離子體，通過(guò)檢測(cè)等離子體光譜信號(hào),，獲得樣品的成分及元素分布信息的技術(shù),。

其分析原理是：樣品表面被高能激光擊穿形成等離子體，等離子體光線(xiàn)經(jīng)過(guò)濾波,分光之后被多通道的光電倍增管檢測(cè)系統(tǒng)檢測(cè),。根據(jù)光譜特征譜線(xiàn)波長(zhǎng)得出被擊穿位點(diǎn)的元素種類(lèi);定標(biāo)后對(duì)應(yīng)譜線(xiàn)的強(qiáng)度表示被擊穿位點(diǎn)元素的濃度,。借助精密三維移動(dòng)平臺(tái)在樣品激發(fā)表面很好的定位和記錄，實(shí)現(xiàn)任意點(diǎn)掃描,，一維線(xiàn)性?huà)呙?，一維深度分析和二維面掃描分析，并據(jù)此獲得與材料原位置相對(duì)應(yīng)的各元素原始含量及狀態(tài)信息,，可以用統(tǒng)計(jì)解析的方法定量表征材料的偏析度,、疏松度等信息。該方法不但有激光光譜的非接觸分析,，微區(qū)分析,，深度分析的優(yōu)點(diǎn)，又具備原位統(tǒng)計(jì)分布分析技術(shù)的原位性和統(tǒng)計(jì)性,。

LIBSOPA-100激光光譜原位分析儀的研制成功為材料成分分析,，缺陷分析，涂鍍層等樣品的分析應(yīng)用提供了新的技術(shù)手段及質(zhì)量判據(jù),。具有以下特點(diǎn)：

1.  *LIBS技術(shù)與OPA技術(shù)結(jié)合的新型分析儀器,，多項(xiàng)技術(shù)。

2.  多元素同時(shí)分析,。28個(gè)元素通道,，包含C,P,S元素，線(xiàn)性關(guān)系良好,；

3.  預(yù)剝蝕時(shí)間,，積分時(shí)間，門(mén)控延遲時(shí)間動(dòng)態(tài)可調(diào),。

4.  分析簡(jiǎn)便,、快速，無(wú)前處理過(guò)程,，避免樣品被污染,；

5.  分析不受樣品尺寸，狀態(tài),，導(dǎo)電性,，難熔與否的影響,；

6.  LIBS具有高靈敏度與高空間分辨率，非常適合涂層材料,、薄膜材料分析,；

7.  微小燒蝕光斑可進(jìn)行局部微區(qū)分析，表面微損分析,，適合材料缺陷分析,；

8.  非接觸測(cè)量，響應(yīng)迅速,，分析時(shí)間短,，可滿(mǎn)足實(shí)時(shí)分析以及在線(xiàn)分析的要求。