原子發(fā)射光譜儀又稱為光電直讀光譜儀,；按照激發(fā)原理又分：火花直讀光譜儀和電弧直讀光譜儀。光電直讀光譜儀雖然本身測量準確度很高,，但測定試樣中元素含量時，所得結(jié)果與真實含量通常不一致，存在一定誤差,，并且受諸多因素的影響，有的材料本身含量就很低,。下面就誤差的種類,、來源及如何避免誤差進行分析。
　　
　　根據(jù)誤差的性質(zhì)及產(chǎn)生原因,，誤差可分為系統(tǒng)誤差,、偶然誤差,、過失誤差及其他誤差等。
　　
　　1.系統(tǒng)誤差的來源
　　
　?。?）標樣和試樣中的含量和化學組成不*相同時,，可能引起基體線和分析線的強度改變，從而引入誤差,。
　　
　?。?）標樣和試樣的物理性能不*相同時，激發(fā)的特征譜線會有差別從而產(chǎn)生系統(tǒng)誤差,。
　　
　?。?）澆注狀態(tài)的鋼樣與經(jīng)過退火、淬火,、回火,、熱軋、鍛壓狀態(tài)的鋼樣金屬組織結(jié)構(gòu)不相同時,，測出的數(shù)據(jù)會有所差別,。
　　
　　（4）未知元素譜線的重疊干擾,。如熔煉過程中加入脫氧劑,、除硫磷劑時，混入未知合金元素而引入系統(tǒng)誤差
　　
　?。?）要消除系統(tǒng)誤差,，必須嚴格按照標準樣品制備規(guī)定要求。為了檢查系統(tǒng)誤差,，就需要采用化學分析方分析多次校對結(jié)果,。
　　
　　2.偶然誤差的來源
　　
　　與樣品成分不均勻有關(guān)的誤差。因為光電光譜分析所消耗的樣品很少,，樣品中元素分布的不均勻性,、組織結(jié)構(gòu)的不均勻性，導致不同部位的分析結(jié)果不同而產(chǎn)生,。
　　
　　3.其他因素誤差及如何避免
　　
　?。?）氬氣不純。當氬氣中含有氧和水蒸氣時,，會使激發(fā)斑點變壞,。如果氬氣管道與電極如果氬氣管道與電極架有污染物排不出，分析結(jié)果會變差,。
　　
　?。?）試樣表面要平整，當試樣放在電極架上時,，不能有漏氣現(xiàn)象,。如有漏氣,，激發(fā)時聲音不正常。
　　
　?。?）樣品與控制標樣的磨紋粗細要一致，不能有交叉紋,，磨樣用力不要過大,，而且用力要均勻，用力過大,，容易造成試樣表面氧化,。
　　
　　（4）對高鎳鉻鋼磨樣時,，要使用新砂輪片磨樣,，磨紋操作要求更嚴格。
　　
　?。?）試樣不能有偏析,、裂紋、氣孔等缺陷,，試樣要有一定的代表性,。
　　
　　（6）電極的*應(yīng)具有一定角度,，使光軸不偏離中心,，放電間隙應(yīng)保持不變，否則聚焦在分光儀的譜線強度會改變,。多次重復放電以后,，電極會長尖，改變了放電間隙,。激發(fā)產(chǎn)生的金屬蒸氣也會污染電極,。所以必須激發(fā)一次后就用刷子清理電極。
　　
　?。?）透鏡內(nèi)表面常常受到來自真空泵油蒸氣的污染,，外表面受到分析時產(chǎn)生金屬蒸氣的附著，使透過率明顯降低,，對波長小于200nm的碳,、硫、磷譜線的透過率影響更顯著,，所以聚光鏡要進行定期清理,。
　　
　　（8）真空度不夠高會降低分析靈敏度,，特別是波長小于200nm的元素更明顯,，為此要求真空度達到0.05mmHg,。
　　
　　（9）出射狹縫的位置變化受溫度的影響zui大,，因此保持分光室內(nèi)恒溫30℃很重要,，還要求室內(nèi)溫度保持一致，使出射狹縫不偏離正常,。
　　
　?。?0）室內(nèi)溫度的升高會增加光電倍增管的暗電流，降低信噪比,。濕度大容易導致高壓元件發(fā)生漏電,、放電，使分析結(jié)果不穩(wěn)定,。