X熒光分析儀的分光系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)及原理

分光系統(tǒng)是波長(zhǎng)色散型X射線熒光光譜儀的重要部件,，它由分光晶體及傳動(dòng)機(jī)構(gòu)、限高光欄,、準(zhǔn)直鏡和衰減器等器件組成,。器件是晶體分光器，它的作用是通過(guò)晶體衍射把不同波長(zhǎng)的X射線分開(kāi),。

一,、分光晶體

分光晶體是晶體分光系統(tǒng)的核心部件，為了獲得好的分析效果,，晶體的選擇是十分重要的,。分光晶體相當(dāng)于光學(xué)光譜儀中棱鏡和光柵，X射線區(qū)域之所以不能使用棱鏡或光柵作為的分光單元,，是因?yàn)?/font>X射線的波長(zhǎng)短,、能量大、穿透力強(qiáng),、幾乎不發(fā)生折射,。

晶體分光的原理是根據(jù)布拉格衍射定律2dsinθ=mλ，當(dāng)波長(zhǎng)為λ的X射線以θ角射到晶體時(shí),，如果晶面間距為d,，則在出射角為θ的方向可以觀測(cè)到波長(zhǎng)為λ=2dsinθ的衍射及波長(zhǎng)為λ/2、λ/3,、… 高次衍射,。改變θ角，可以觀測(cè)到其他波長(zhǎng)的X射線,，從而使不同波長(zhǎng)的X射線得以分開(kāi),。

大部分分光晶體為無(wú)機(jī)或有機(jī)鹽類(lèi)單晶，也可使用人造多晶膜晶體。不同的分光晶體的2d值及適用范圍也不同,。分光晶體選用時(shí)應(yīng)考慮以下因素：

1）衍射強(qiáng)度高

分光晶體的次線的衍射強(qiáng)度一般大于高一次線,，衍射強(qiáng)度也隨波長(zhǎng)而變化。晶體表面的光潔度,、晶體結(jié)構(gòu)的完整性,、晶體的不同晶面都會(huì)影響衍射強(qiáng)度。

2）分辨率高,，利于少譜線干擾

分辨率是指分光晶體能分開(kāi)或辨別兩條波長(zhǎng)十分相近譜線的能力,。同一晶體的不同晶面會(huì)有不同的分辨率，一般選用高分辨率的晶體和晶面,。分辨率同時(shí)受角色散率和發(fā)散度的影響,。

角色散率(dθ/dλ)是指兩條譜線的2θ角分開(kāi)的程度。由布拉格方程微分得到：

dθ/dλ=m/(2dcosθ)=tano/λ

由上式可見(jiàn),，2d較小的晶體角色散率大,，分辨率也高，當(dāng)m>1時(shí),，高級(jí)次的分辨率比線的高,。

發(fā)散度是指譜峰寬度，可用譜線的半峰寬來(lái)度量,。兩相鄰的譜線譜峰越寬越難分辨,。

 3）信噪比高

信噪比是指信號(hào)與噪聲的比值，一般選用信噪比高的晶體,。

4）溫度效應(yīng)小

一般地,，隨衍射角的增大，晶體的熱膨脹系數(shù)對(duì)譜峰位移的影響也將增大,。所選晶體應(yīng)是受溫度,、濕度影響小的。

 二,、晶體分光系統(tǒng)

晶體分光系統(tǒng)可按晶體類(lèi)型分為平面晶體分光系統(tǒng)和曲面晶體分光系統(tǒng)兩類(lèi)。平面晶體色散法中,，由樣品上每一點(diǎn)發(fā)射出來(lái)的各種波長(zhǎng)的X射線入射到給定的晶體,，由于樣品上同一點(diǎn)發(fā)射出來(lái)，并從其他方向入射到晶面上的同一波長(zhǎng)譜線,，不符合布拉格定律而不被衍射,。曲面晶體的曲率允許側(cè)向發(fā)射的同一波長(zhǎng)譜線以同樣的布拉格角入射到晶面，這樣就有更多的同一波長(zhǎng)的譜線同時(shí)在晶體上受到衍射,，且受衍射的譜線會(huì)聚到同一條線或一個(gè)點(diǎn)上起到“強(qiáng)聚焦”效果,。

 1）平面晶體分光系統(tǒng)

平面晶體構(gòu)成的分光系統(tǒng)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，晶體不需要特殊磨制，一般用于掃描型X射線熒光光譜儀,。其系統(tǒng)主要由X射線管（激發(fā)源）,、分光晶體、準(zhǔn)直器,、檢測(cè)器組成,。由于使用了準(zhǔn)直器，衰減了X熒光的強(qiáng)度,，是有些元素如Na和Mg等幾乎不能用其獲得精確的分析結(jié)果,。

2）曲面晶體分光系統(tǒng)

與平面晶體分光系統(tǒng)相比，曲面晶體分光系統(tǒng)具有強(qiáng)聚焦的能力,。衍射強(qiáng)度和分辨率都比平面晶體分光系統(tǒng)好,。其有兩種比較典型的曲率方案：聚焦法和對(duì)數(shù)螺線法。

①全聚焦法光路設(shè)計(jì)較簡(jiǎn)單,，焦距效果好,，且系統(tǒng)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，無(wú)需前后準(zhǔn)直器,。但是晶體的磨制,、彎曲和黏貼難度大，不能適用于所有晶體,。

②對(duì)數(shù)螺線法的分光光路設(shè)計(jì)是使X射線聚焦在一個(gè)很小的區(qū)域,，比平面晶體的強(qiáng)度遠(yuǎn)高很多。且對(duì)數(shù)螺線法的光路設(shè)計(jì)幾乎適用于所有的晶體,，晶體及晶體架的加工簡(jiǎn)單,，但是數(shù)學(xué)模型較復(fù)雜。

 三,、分光機(jī)構(gòu)

分光晶體被安裝在精密控制的旋轉(zhuǎn)裝置上,，由于試樣位置是固定的，為檢測(cè)到試樣發(fā)出的波長(zhǎng)為λ的熒光X射線,，分光晶體轉(zhuǎn)動(dòng)θ角,，檢測(cè)器必須轉(zhuǎn)動(dòng)2θ角。