德國進(jìn)口PI線性平臺A-123帶空氣軸承

高性能納米級定位平臺

掃描應(yīng)用的*選擇或精密定位

運(yùn)動(dòng)平臺的尺寸210 毫米×210 毫米

分辨率達(dá)1納米

無塵室兼容

行程50 毫米至750 毫米

產(chǎn)品概述

PIglide系列平臺配備伺服驅(qū)動(dòng)器線性電機(jī)，電機(jī)配置帶預(yù)載的空氣軸承和集成線性編碼器,。這類非接觸式零件的組合形成了一個(gè)無摩擦運(yùn)動(dòng)平臺,，可提供zuigao的性能、質(zhì)量和使用壽命,。

高推動(dòng)力線性電機(jī)可以在幾毫秒內(nèi)將平臺驅(qū)動(dòng)至zuigao速度,，高承載能力軸承可支承重達(dá)60 公斤的有效載荷。該型號中的側(cè)面相對,、主動(dòng)預(yù)載空氣軸承設(shè)計(jì)可實(shí)現(xiàn)任意方向上的安裝,。

應(yīng)用領(lǐng)域

PIglide定位系統(tǒng)非常適用于高精度應(yīng)用，諸如半導(dǎo)體或平板顯示器制造中的計(jì)量,、光子學(xué)和精密掃描,。

由于運(yùn)動(dòng)無摩擦，不會(huì)形成顆粒，PIglide平臺非常適用于無塵室應(yīng)用,。

附件和可選配件

·         編碼器

·         PIglide過濾器和空氣預(yù)處理器

·         單軸和多軸運(yùn)動(dòng)控制器

·         XY裝置和個(gè)性化配置

·         電纜軌道變型

·         用于垂直（Z）方向的配重選項(xiàng)

·         可提供定制版

·         花崗巖底座板和隔振系統(tǒng)

訂購信息

A-123.050A1 PIglideAT3線性平臺,，空氣軸承，50毫米行程,，增量帶正弦/余弦信號傳輸?shù)木€性編碼器,，20微米傳感器信號周期，無 鐵芯三相線性電機(jī),，48伏

A-123.050B1 PIglideAT3線性平臺,，空氣軸承，50毫米行程,，帶BiSSC信號傳輸?shù)木€性編碼器,，1納米傳感器分辨率，無鐵芯三相線性電機(jī),，48伏

A-123.350A1 PIglideAT3線性平臺,，空氣軸承，350毫米行程,，增量帶正弦/余弦信號傳輸?shù)木€性編碼器,，20微米傳感器信號周期， 無鐵芯三相線性電機(jī),，48伏

A-123.350B1 PIglideAT3線性平臺，空氣軸承,，350毫米行程,，帶BiSSC信號傳輸?shù)木€性編碼器，1納米傳感器分辨率,，無鐵芯三相線性電機(jī),，48伏

德國進(jìn)口PI線性平臺A-123帶空氣軸承