進口PI微平移位移臺M-105 • M-106

微平移位移臺M-105 • M-106

精密交叉滾子導(dǎo)軌,，PiezoMike選項，XY(Z)組合

行程達18毫米

XY和XYZ組合

PiezoMike可供選擇,，分辨率為10納米

全不銹鋼構(gòu)造

分辨率達0.1微米

可供選擇的電機驅(qū)動器

描述

M-105和M-106線性平臺可提供X,、XY和XYZ配置，行程可長達18毫米,。它們采用交叉滾柱軸承,，導(dǎo)向精度優(yōu)于2微米。支架上施加預(yù)載來抵住帶彈簧的精密千分絲杠,，用于抑制空回,。

在XYZ版本中，Z軸安裝轉(zhuǎn)接支架,，使負載作用在彈簧預(yù)載的方向上,。

應(yīng)用領(lǐng)域

手動樣本操縱。

訂購信息

M-105.10 微平移位移臺,，18毫米

M-105.11 微平移位移臺,，18毫米，帶可鎖定測微計驅(qū)動器 M-105.1B 微平移位移臺,，無驅(qū)動

M-105.1P 微平移位移臺,，18毫米，PiezoMike驅(qū)動

M-105.20 XY微平移位移臺,，18毫米

M-105.2B XY微平移位移臺,，無驅(qū)動

M-105.2P XY微平移位移臺，18毫米,，PiezoMike驅(qū)動

M-105.30 XYZ微平移位移臺,，18毫米（帶M-009.10支架用于側(cè)向安裝）

M-105.3BA XYZ微平移位移臺，無驅(qū)動（帶M-105.VB1支架）

M-105.3BB XYZ微平移位移臺,，無驅(qū)動（帶M-009.10支架）

M-105.3P XYZ微平移位移臺,，18毫米,，PiezoMike驅(qū)動（帶M-009.10支架用于側(cè)向安裝）

M-106.10 微平移位移臺，5毫米,，差動測微計驅(qū)動器

M-106.20 XY微平移位移臺,，5毫米，差動測微計驅(qū)動器

M-106.30 XYZ微平移位移臺,，5毫米,，差動測微計驅(qū)動器（帶M-009.10支架）

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