氦氖激光器是使用時間早，技術(shù)成熟,，應(yīng)用的激光器之一,。氣體原子具有確定的能級結(jié)構(gòu)，在外界的電子激發(fā)后發(fā)生能級躍遷產(chǎn)生粒子數(shù)反轉(zhuǎn),，產(chǎn)生受激輻射,，發(fā)出激光。因此氦氖激光波長是純凈的單色光,，線寬極窄,，波長誤差只有幾納米，因此具有極大的相干長度,。有些靠能帶躍遷發(fā)光的激光器如LD的單色性與相干性無法與之相比,。原子能級結(jié)構(gòu)是確定的，因此激光不受溫度波動影響,。加上諧振腔的作用保障了激光輸出具有良好的準直性,，發(fā)散角只有幾個毫弧度。在需要良好單色性,、相干性和準直性的場合,，特別是精密測量領(lǐng)域，氣體激光器具有不可動搖的地位,。 氦氖激光器主要缺點是需要高壓直流供電,，需要較高的技術(shù)含量，與ＬＤ相比成本較高,。