均一性與穩(wěn)定性控制

光刻膠是利用光化學(xué)反應(yīng)經(jīng)曝光,、顯影,、刻蝕、去膠等工藝將需要的圖形從掩模版轉(zhuǎn)移到待加工襯底上的材料,。經(jīng)曝光后,，光刻膠在顯影液中溶解度會發(fā)生變化，從而可以形成圖案,。

光刻膠是國際上技術(shù)門檻最高的微電子化學(xué)品之一,，占芯片制造時間的40%~50%，光刻膠是光刻工藝得以實現(xiàn)選擇性刻蝕的關(guān)鍵材料,。光刻膠成分復(fù)雜,，主要成分有高分子樹脂、色漿,、單體,、感光引發(fā)劑、溶劑以及添加劑,。國內(nèi)缺乏生產(chǎn)光刻膠所需的原材料,，作為生產(chǎn)光刻膠最重要的色漿，至今依賴日本,，其核心技術(shù)至今被TOK,、JSR、住友化學(xué),、信越化學(xué)等日本企業(yè)所壟斷,。開發(fā)光刻膠用的色漿，具有重要得意義,。^[1]

光刻膠涉及技術(shù)復(fù)雜,，需從低聚物結(jié)構(gòu)設(shè)計和篩選、合成工藝的確定和優(yōu)化,、活性單體的篩選和控制,、色漿細度控制和穩(wěn)定、產(chǎn)品配方設(shè)計和優(yōu)化,、產(chǎn)品生產(chǎn)工藝優(yōu)化和穩(wěn)定,、最終使用條件匹配和寬容度調(diào)整等方面進行調(diào)整。^[1]

奧法美嘉平臺提供整套的光刻膠用色漿均一性與穩(wěn)定性解決方案，可用于快速評估,、優(yōu)化光刻膠色漿的配方和工藝：砂（珠）磨機對色漿進行研磨分散處理,，高壓微射流均質(zhì)機對色漿漿料進行分散均質(zhì)處理、Nicomp粒度分析儀分析平均粒徑,、AccuSizer顆粒計數(shù)器分析大粒子濃度,，Lum穩(wěn)定性分析儀快速分析色漿穩(wěn)定性，Entegris-ANOW濾芯過濾雜質(zhì)及大顆粒,。

光刻膠色漿制備流程概述

光刻膠色漿的制備工藝,，主要是涉及色漿配方（顏料、分散劑,、溶劑等）混合,，然后經(jīng)過砂(珠)磨機研磨分散、高壓微射流均質(zhì)分散得到一定粒度分散的漿料,，而后再通過濾芯對漿料進行除雜（去除大顆粒,，金屬離子等污染物）。

在色漿制備中的難點是色漿的團聚現(xiàn)象,，這既和配方的穩(wěn)定性有關(guān),，也和制備工藝機械能是否適中有關(guān)：過小的機械能不足以解開團聚；而過大的機械能則容易對粒子造成二次損壞,，局部溫度過高,，降低穩(wěn)定性；此外,，制備工藝對大顆粒的去除效果會直接影響成品效果,。常規(guī)制備的色漿平均粒徑在20nm~100nm左右。色漿的穩(wěn)定性不僅是對制備工藝優(yōu)化至關(guān)重要,，更是直接影響成品色漿的存儲和使用,。

通過PSS的Nicomp粒度分析儀測試平均粒徑、AccuSizer顆粒計數(shù)器測試過大顆粒濃度,、Lum穩(wěn)定性分析儀快速篩選光刻膠用色漿配方穩(wěn)定性,。

圖1 光刻膠用色漿均一性解決方案

光刻膠用色漿粒度控制

目前部分低端光刻膠已實現(xiàn)國產(chǎn)化，但高斷光刻膠仍依賴進口,。開發(fā)光刻膠遇到的一大難題是色漿這一原材料，至今依賴日本,，其核心技術(shù)至今被日本企業(yè)所壟斷,。光刻膠用色漿的粒徑大小、粒徑分布,、均一性等因素對光刻膠性能以及后續(xù)工藝起著重要作用,。在對光刻膠進行考察時，主要評估其平均粒徑大小，大顆粒濃度,、穩(wěn)定性等指標(biāo),。

HM&M珠磨機

常見分散方法的球磨法或砂磨機，在分散時物料,、磨珠與機體之間的撞擊會對色漿中的顏料造成磨損,，磨損的材料進入漿液中會變成難以除去的雜質(zhì)，這對漿料的純度產(chǎn)生不利的影響,，此外,，機械力過大時局部升溫過快，也會導(dǎo)致物料的不穩(wěn)定,，影響后續(xù)的涂覆工藝,。日本HM&M珠磨機的ADV機型，特殊設(shè)計的轉(zhuǎn)子,，可對高粘度的漿料（高達2000mPas）的進行納米級和微米級分散,，同時，也能以更小的粒子損傷對漿料進行分散,，獲得粒子原有特性無損的產(chǎn)品,。磨珠磨損少，能減少污染量,。結(jié)構(gòu)設(shè)計上,，易于更換磨珠，拆卸和清洗也十分方便,。

高壓微射流均質(zhì)機

PSI-20高壓微射流均質(zhì)機（小試兼中試型）采用固定結(jié)構(gòu)的均質(zhì)腔,，通過電液傳動的增壓器使物料在高壓作用下以極大的速度流經(jīng)交互容腔的微管通道,，物料流在此過程中受到高剪切力、高碰撞力,、空穴效應(yīng)等物理作用,，使得平均粒徑降低,、體系均一穩(wěn)定，由此獲得理想的均質(zhì),、分散或乳化結(jié)果,。

平均粒徑檢測

色漿的粒徑對其后道的涂覆,，色散效果等影響較大,，會影響顯色效果，粒徑的控制是光刻膠用色漿的重要指標(biāo),。色漿在未經(jīng)分散時容易產(chǎn)生大團聚物,，色漿中顏料顆粒大小增加形成大顆粒，容易影響涂覆效果,。適當(dāng)?shù)姆稚⒛茉黾由珴{的分散效果,，進而影響涂覆顯色性能。

Nicomp納米激光粒度儀系列

Nicomp系列納米激光粒度儀采用動態(tài)光散射原理檢測分析樣品的粒度分布,，基于多普勒電泳光散射原理檢測ZETA電位,。

尾端大粒子濃度檢測

光刻膠用色漿,，常用于彩膠制備，用于TFT-LCD,，色漿中大顆粒的存在,，會在涂覆后的屏上出現(xiàn)缺陷，影響成品效果,。而大顆粒的產(chǎn)生主要在于：1）制備工藝中本身沒有很好去除大顆粒2）配方不穩(wěn)定，小顆粒聚集成大顆粒。因此,，對于大顆粒（尾端大粒子）的監(jiān)控,，對于篩選并優(yōu)化色漿漿料配方，成品檢測具有重要意義,。

AccuSizer顆粒計數(shù)器系列

AccuSizer系列在檢測液體中顆粒數(shù)量的同時精確檢測顆粒的粒度及粒度分布,，通過搭配不同傳感器、進樣器,，適配不同的樣本的測試需求,，能快速而準(zhǔn)確地測量顆粒粒徑以及顆粒數(shù)量/濃度。

穩(wěn)定性分析檢測

分散的光刻膠用色漿中的顏料粒子會隨著時間的變化發(fā)生再聚集，在實際使用過程中,，往往在采購?fù)晟珴{后的一段時間內(nèi)使用,，這就需要評估色漿存儲的穩(wěn)定性。此外,，在色漿的配方選擇及工藝優(yōu)化階段,，穩(wěn)定性的評估也非常重要，通過快速評估穩(wěn)定性,，可在研發(fā)階段對不同色漿配方進行篩選,，對工藝進行優(yōu)化，大大縮短研發(fā)時間,。

LUM穩(wěn)定性分析儀

Lum穩(wěn)定性分析儀可以直接測量整個樣品的分散體的穩(wěn)定性,，檢測和區(qū)分各種不穩(wěn)定現(xiàn)象，如上浮,、絮凝,、聚集、聚結(jié),、沉降等,，通過測量結(jié)果可用來開發(fā)新的配方和優(yōu)化現(xiàn)有的配方及工藝。

? 快速,、直接測試穩(wěn)定性,，無需稀釋,，溫度范圍寬廣 ? 可同時測8個樣品，測量及辨別不同的不穩(wěn)定現(xiàn)象及不穩(wěn)定性指數(shù) ? 加速離心,，最高等效2300倍重力加速度

過濾

在色漿制備過程中,，過濾可有效去除漿料中的尾端大顆粒和其他雜質(zhì)，過濾后的漿料相較于未過濾之前穩(wěn)定性更好,，可為后續(xù)催化劑漿料涂覆工藝提供更好的原料,。過濾時使用不同的膜將會影響物理攔截，吸附攔截等效果,，需根據(jù)不同的工藝選擇能相容該產(chǎn)品的濾芯,。

Entegris-ANOW 濾芯

Entegris-Anow是一家高分子微孔膜過濾企業(yè)，專業(yè)從事MCE,、Nylon,、PES、PVDF,、PTFE等（膜孔徑為0.03μm~10μm）微孔膜的研發(fā)及生產(chǎn),，具有二十多年服務(wù)與醫(yī)藥客戶經(jīng)驗，并為全球生物制藥,、醫(yī)療器械,、食品飲料、實驗室分析,、微電子及工業(yè)等領(lǐng)域的客戶提供過濾,、分離和凈化解決方案。