リオンは、zui小可測(cè)粒徑0.05μmの超純水プラント向け液中パーティクルカウンタ「KL-30B」を,、6月1日から発売します,。
電子デバイス製造工場(chǎng)の洗浄工程に超純水が使用されており、液中パーティクルカウンタは,、この超純水中の微粒子の粒徑と個(gè)數(shù)濃度の清浄度管理に利用されています,。
このたび開発した「KL-30B」は、粒子検出部,、表示部,、流體制御部を一體化させたオールインワンタイプです。超純水の製造ラインに直接接続し,、清浄度を常時(shí)監(jiān)視することができます,。粒徑區(qū)分は、0.05μmから0.2μmの範(fàn)囲で、zui大10段階を設(shè)定できます,。

主な特長(zhǎng)

• 粒子検出部,、表示部、流體制御部,、データ出力機(jī)能を一筐體に収め,、使用場(chǎng)所での利便性を高めました。
• 超純水の供給ラインに直接接続し,、清浄度の監(jiān)視が可能です,。
• zui小可測(cè)粒徑は0.05μm。粒徑區(qū)分は0.05μmから0.2μmの範(fàn)囲で,、zui大10段階を設(shè)定可能です,。
• 偽計(jì)數(shù)を低減させる技術(shù)を新たに採(cǎi)用しました。（従來(lái)比約1/5）,。
• 粒子検出部の外気環(huán)境粒子による汚染を防止するため,、フィルタでろ過(guò)した清浄空気を送り込む裝置「パージエアユニット」を標(biāo)準(zhǔn)搭載しています。
• 試料圧力500kPa（ゲージ圧）と高圧にも対応しています,。
• データ出力機(jī)能は,、D/Aコンバータ（4～20mA）、プリンタ,、コンパクトフラッシュカード（オプション）,、シリアルインターフェースと複數(shù)ご用意しています。
• 粒子検出部の取り外しが簡(jiǎn)便な構(gòu)造にし,、メンテナンス性が向上しています,。

主な使用用途

主に電子デバイス製造工場(chǎng)の超純水プラントにて生産される超純水の粒子汚染の監(jiān)視