在ICP－MS中,，產(chǎn)生的1000,，000個(gè)離子中,，只有1個(gè)能夠最終到達(dá)檢測器,，這是由于每級的效率決定的，在這樣低效率的傳輸下,，去除各種干擾就變得更加重要了,，離子鏡的主要目的是去除電子和中性微粒的影響，并對正電子實(shí)現(xiàn)聚焦,。離子鏡的結(jié)構(gòu)如下圖所示,。

當(dāng)離子從截取錐噴出時(shí)，在進(jìn)入離子鏡之前,，能量較小的離子會(huì)更多的被真空抽走,。

等離子體首先進(jìn)入的是截取透鏡（extraction lens）,，截取透鏡具有很強(qiáng)的負(fù)電勢，所以電子無法通過,，被真空抽走,。在后面是幾級離子聚焦透鏡，離子聚焦透鏡的原理是：安裝兩個(gè)電極板或圓筒,，在兩個(gè)電極之間形成了透鏡狀的等場強(qiáng)線,，當(dāng)邊緣離子入射到電場時(shí)，受電場影響,，向中心移動(dòng),，隨后出射運(yùn)動(dòng)方向又恢復(fù)到了向前，實(shí)現(xiàn)了位置上的聚焦,。ICP－MS在產(chǎn)生離子的同時(shí),，也產(chǎn)生大量光子，由于光子也可以被檢測器檢測和計(jì)數(shù),，所以在離子透鏡的末端,，是一個(gè)偏轉(zhuǎn)透鏡，用于去除光子干擾,。(一般來講,，采樣錐離子流為0.1A，截取錐電流為1mA)

在ICP－MS6880中,，透鏡組如下圖：

接口錐后配備2個(gè)提取透鏡,。

2個(gè)提取透鏡電壓可分別調(diào)節(jié)電壓，可以實(shí)現(xiàn)軟提取,、硬提取,、浸透式提取等，多種提取模式,，提升各種復(fù)雜基體的分析能力.

樣品通過離子源離子化,，形成離子流，通過接口進(jìn)入真空系統(tǒng),，在離子鏡中,，負(fù)離子、中性粒子以及光子被攔截,，而正離子正常通過,，并且達(dá)到聚焦的效果。在分析器中,，儀器通過改變分析器參數(shù)的設(shè)置，僅使我們感興趣的核質(zhì)比的元素離子順利通過并且進(jìn)入檢測器,，在檢測器中對進(jìn)入的離子個(gè)數(shù)進(jìn)行計(jì)數(shù),，得到了最終的元素的含量,。

ICP－MS6880電感藕合等離子體質(zhì)譜主要結(jié)構(gòu)

ICP－MS是一種靈敏度非常高的元素分析儀器，可以測量溶液中含量在ppb或ppb以下的微量元素,。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體,、地質(zhì)、環(huán)境以及生物制藥等行業(yè)中,。

ICP－MS全稱是電感藕合等離子體質(zhì)譜,，它是一種將ICP技術(shù)和質(zhì)譜結(jié)合在一起的分析儀器。ICP利用在電感線圈上施加的強(qiáng)大功率的高頻射頻信號(hào)在線圈內(nèi)部形成高溫等離子體,，并通過氣體的推動(dòng),，保證了等離子體的平衡和持續(xù)電離，在ICP－MS中,，ICP起到離子源的作用,，高溫的等離子體使大多數(shù)樣品中的元素都電離出一個(gè)電子而形成了一價(jià)正離子。

質(zhì)譜是一個(gè)質(zhì)量篩選和分析器,，通過選擇不同質(zhì)核比（m/z）的離子通過來檢測到某個(gè)離子的強(qiáng)度,，進(jìn)而分析計(jì)算出某種元素的強(qiáng)度。

ICP－MS的發(fā)展已經(jīng)有20年的歷史了,，在長期的發(fā)展中,，人們不斷的將新的技術(shù)應(yīng)用于ICP－MS的設(shè)計(jì)中，形成了各類ICP－MS,。ICP－MS主要分為以下幾類：四極桿ICP－MS,，高分辨ICP－MS（磁質(zhì)譜），ICP－tof－MS,。本文主要介紹四極桿ICP－MS,。

                                                            圖1是ICP－MS的主要組成模塊。

樣品通過離子源離子化,，形成離子流,，通過接口進(jìn)入真空系統(tǒng)，在離子鏡中,，負(fù)離子,、中性粒子以及光子被攔截，而正離子正常通過,，并且達(dá)到聚焦的效果,。在分析器中，儀器通過改變分析器參數(shù)的設(shè)置,，僅使我們感興趣的核質(zhì)比的元素離子順利通過并且進(jìn)入檢測器,，在檢測器中對進(jìn)入的離子個(gè)數(shù)進(jìn)行計(jì)數(shù)，得到了最終的元素的含量。