電感耦合等離子體質(zhì)譜儀是一種常用的質(zhì)譜儀產(chǎn)品,，主要由等離子體發(fā)生器、霧化室,、矩管,、四極質(zhì)譜儀和一個(gè)快速通道電子倍增管等部件組成。

 

工作原理：

 

根據(jù)被測(cè)元素通過一定形式進(jìn)入高頻等離子體中,，在高溫下電離成離子,，產(chǎn)生的離子經(jīng)過離子光學(xué)透鏡聚焦后進(jìn)人四極桿質(zhì)譜分析器按照荷質(zhì)比分離，既可以按照荷質(zhì)比進(jìn)行半定量分析,，也可以按照特定荷質(zhì)比的離子數(shù)目進(jìn)行定量分析。該類型質(zhì)譜儀主要由離子源,、質(zhì)量分析器和檢測(cè)器三部分組成,，還配有數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)、真空系統(tǒng),、供電控制系統(tǒng)等,。

 

 

與其它大型精密儀器一樣,，電感耦合等離子體質(zhì)譜儀需要在一定的環(huán)境下運(yùn)行,，失去這些條件，不僅儀器的使用效果不好,，而且改變儀器的檢測(cè)性能,，甚至造成損壞，縮短壽命,。根據(jù)光學(xué)儀器的特點(diǎn),，對(duì)環(huán)境溫度和濕度有一定要求。
如果溫度變化太大，光學(xué)元件受溫度變化的影響就會(huì)產(chǎn)生譜線漂移,，造成測(cè)定數(shù)據(jù)不穩(wěn)定,，一般室溫要求維持在70～75攝氏度間的一個(gè)固定溫度，溫度變化應(yīng)小于±1攝氏度,。而環(huán)境濕度過大,，光學(xué)元件，特別是光柵容易受潮損壞或性能降低,。
電子系統(tǒng),，尤其是印刷電路板及高壓電源上的元件容易受潮燒壞。濕度對(duì)高頻發(fā)生器的影響也十分重要,，濕度過大,，輕則等離子體不容易點(diǎn)燃，重則高壓電源及高壓電路放電擊毀元件,，如功率管隔直陶瓷電容擊穿,，輸出電路阻抗匹配、網(wǎng)絡(luò)中的可變電容放電等,，以至損壞高頻發(fā)生器,。一般室內(nèi)濕度應(yīng)小于百分之70，應(yīng)控制在百分之45～60之間,，應(yīng)有空氣凈化裝置,。