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技術(shù)規(guī)格（Specifications）

（一）半導(dǎo)體芯片晶圓Wafer潔凈度接觸角測(cè)量?jī)x主機(jī)：

（1）主機(jī)使用高強(qiáng)度航空鋁合金結(jié)構(gòu)搭配模塊化設(shè)計(jì)理念,，自主研發(fā)的集成芯片電路控制，保證儀器運(yùn)行,；

（2）成像部分使用高性能日本*工業(yè)機(jī)芯及無(wú)失真遠(yuǎn)心鏡頭確保成像效果,。

（3）工業(yè)級(jí)可調(diào)LED單波長(zhǎng)冷光源系統(tǒng)，成像更清晰

（4）自動(dòng)位移平臺(tái)，實(shí)現(xiàn)Y,、Z自動(dòng)定位測(cè)量,，定點(diǎn)地位更精確，測(cè)量效率更高

規(guī)格：

1. 主機(jī)外形尺寸：1200mm（長(zhǎng)）*600mm(寬)* 670mm(高) 
2. 主機(jī)凈重：55KG
3. 工作臺(tái)面尺寸：420mm*420mm
4. 工作臺(tái)移動(dòng)：

 前后移動(dòng) 自動(dòng),，行程160mm,，精度0.01mm
        上下移動(dòng) 手動(dòng)，行程20mm,，精度0.01mm

1. 進(jìn)樣器移動(dòng)：自動(dòng)上下60mm（自動(dòng)）;  左右30mm
2. 工業(yè)鏡頭移動(dòng)：前后30mm（微調(diào)3mm）
3. 工業(yè)鏡頭：0.7X *-4.5X高清遠(yuǎn)心連續(xù)變倍變焦顯微鏡
4. CCD：SONY*高速工業(yè)級(jí)芯片,；60幀/S
5. 鏡頭角度可調(diào)試：仰視、平視,、俯視多視角觀察
6. 光源：LED可調(diào)節(jié)藍(lán)色基調(diào)工業(yè)級(jí)冷光源,；使用壽命達(dá)貳萬(wàn)伍仟小時(shí)以上
7. 電源及功率：220V / 60HZ

（二）半導(dǎo)體芯片晶圓Wafer潔凈度接觸角測(cè)量?jī)x分析軟件：

（1）*進(jìn)的接觸角測(cè)量分析軟件自動(dòng)橢圓擬合法（一鍵自動(dòng)擬合，不存在人工誤差）包括：

圓法擬合（Circle method）（適用于低角度接觸角測(cè)量）

橢圓/斜橢圓擬合法（Ellipse/Oblique ellipse）（適用于高角度接觸角擬合）

LY（應(yīng)用于120°以上高角度接觸角測(cè)量）

微分橢圓法/微分圓法（Differential circle / Differential ellipse）（應(yīng)用于不規(guī)則液滴形態(tài)接觸角的擬合）

1. 動(dòng)態(tài)接觸角擬合包括：

潤(rùn)濕性能測(cè)試（Wettability）（應(yīng)用于慢性吸收材料,、潤(rùn)濕材料的表面吸收或潤(rùn)濕性能測(cè)試,，批量處理）

視頻擬合（Video analysis）（應(yīng)用于吸收或潤(rùn)濕速度較快的樣品的吸收或潤(rùn)濕性能測(cè)試，視頻動(dòng)態(tài)處理）

1. 動(dòng)態(tài)表面/界面張力測(cè)量（Measurement of dynamic surface / interfacial tension）（測(cè)量液體整個(gè)過(guò)程的張力變化趨勢(shì),，更準(zhǔn)確的判定其真實(shí)的表面/界面張力）
2. 表面能量計(jì)算（Surface energy）（使用主流的多種表面能計(jì)算方式測(cè)量對(duì)固體表面能量進(jìn)行分析）
3. 粘附功（Adhesion work）
4. 數(shù)據(jù)報(bào)告（Data report）（支持WORD,、Excel類型數(shù)據(jù)報(bào)告，自動(dòng)生成晶圓模式數(shù)據(jù)譜圖）

規(guī)格：

1. 接觸角測(cè)量范圍：0-180°
2. 接觸角測(cè)量精度：±0.1°
3. 表界面張力測(cè)量范圍：0-2000mN/m,；測(cè)量精度：0.01 mN/m
4. 高精度自動(dòng)滴液系統(tǒng)：軟件高精度滴液系統(tǒng),；滴液精度：0.0 1μl
5. 一鍵式多點(diǎn)測(cè)量（可多次循環(huán)）：自動(dòng)進(jìn)樣→自動(dòng)接液→軟件自動(dòng)完成測(cè)量→自動(dòng)換下一個(gè)點(diǎn)位
6. 可針對(duì)不同樣品設(shè)置測(cè)量方案并可保存，方便下次再次測(cè)量同一類樣品時(shí)直接調(diào)取測(cè)量

四·產(chǎn)品特點(diǎn)（Product features）

1. 專業(yè)級(jí)的高精度注射系統(tǒng),，全電腦控制,，液滴控制精度可達(dá)0.01μl
2. Y軸自動(dòng)位移，平臺(tái)自動(dòng)旋轉(zhuǎn),，可一次測(cè)量多個(gè)已設(shè)置點(diǎn)并給出對(duì)應(yīng)測(cè)量數(shù)據(jù),，實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)化測(cè)量
3. 工業(yè)級(jí)可調(diào)LED冷光源系統(tǒng)（壽命25000H以上），更清晰的成像,，同時(shí)避免額外熱度所導(dǎo)致的小液滴揮發(fā)
4. 采用高性能日本*工業(yè)機(jī)芯,，無(wú)失真遠(yuǎn)心鏡頭，確保成像效果,。
5. 采用USB2.0標(biāo)準(zhǔn)接口,，數(shù)據(jù)傳輸速度快，兼容性高
6. 高強(qiáng)度航空鋁合金結(jié)構(gòu),，模塊化設(shè)計(jì)理念,，可配置各種常用測(cè)量附件
7. 自主研發(fā)的集成芯片電路控制，保證儀器運(yùn)行
8. 多種輔助模塊選取,，滿足更多的外部測(cè)試條件
9. 光學(xué)系統(tǒng)頂式法,，適合超低角度測(cè)量和疏水材料測(cè)量
10. 多種接觸角分析方法，更適合多種材料接觸角測(cè)量
11. 采用計(jì)算方法，能夠自動(dòng)識(shí)別基準(zhǔn)線及輪廓線,，無(wú)人為誤差
12. 高速全自動(dòng)操作測(cè)量,，且直觀讀取數(shù)據(jù)結(jié)果，有圖有真相,，有擬合痕跡,，測(cè)流量結(jié)果是否準(zhǔn)確一目了然
13. 表面接觸角分析模塊，更簡(jiǎn)捷的操作,，更準(zhǔn)確的結(jié)果
14. 視頻快速測(cè)試數(shù)據(jù),，可連續(xù)性進(jìn)測(cè)試接觸角形態(tài)變化
15. 一鍵式軟件操作: 【按空格鍵】--打開(kāi)攝像頭； 【測(cè)試】--精準(zhǔn)的控制滴液-自動(dòng)接液-高精度的進(jìn)行全自動(dòng)測(cè)量-測(cè)量完畢后自動(dòng)更換測(cè)量位置直至整個(gè)原設(shè)置好的測(cè)量方案運(yùn)行結(jié)束

儀器應(yīng)用領(lǐng)域

• TFT-LCD面板行業(yè)：玻璃面板潔凈度與鍍膜質(zhì)量測(cè)量,；TFT打印電路,、彩色濾    光片、 ITO導(dǎo)體膠卷等前涂層質(zhì)量測(cè)量

• 印刷,、塑膠行業(yè)：表面清潔與附著質(zhì)量測(cè)量,；油墨附著度測(cè)量；膠水膠體性質(zhì)相容性測(cè)量,；染料的緊扣度

• 半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)：晶圓的潔凈度測(cè)量；HMDS的處理控制,；CMP的研究測(cè)量,、光阻與顯影劑的研究

• 化學(xué)材料研究：防水與親水性能材料研究探討；表面活性與清潔劑的張力,、濕性,；黏性增強(qiáng)與附著表面能測(cè)量

• IC封裝：基質(zhì)表面潔凈度；原子合成氧化識(shí)別,；BGA焊接表面,；環(huán)氧化物的附著度測(cè)量

光學(xué)接觸角測(cè)量?jī)x:是一種簡(jiǎn)單、快速,、靈敏的方法測(cè)量固體表面的潤(rùn)濕性,。且可間接測(cè)量固體表面能與液體表面張力。