微波等離子清洗機(jī)有哪些用途?
閱讀:694 發(fā)布時(shí)間:2023-12-29
封裝的質(zhì)量直接影響到電子元器件的可靠性和使用壽命,。在微電子封裝的生產(chǎn)過程中,由于接觸,、溶劑揮發(fā)、自然氧化等都可能會(huì)造成芯片,、鍵合指或外殼焊環(huán)表面形成各種沾污。
微波等離子清洗機(jī)是一種利用微波和等離子技術(shù)進(jìn)行清洗的設(shè)備,。它通過產(chǎn)生微波能量,,并將其引入封閉的清洗室中,,使液體在高溫和壓力下形成等離子體。這些等離子體具有強(qiáng)大的清洗能力,,可以有效去除污垢、油脂,、細(xì)菌和病毒等各種表面污染物,。
微波等離子清洗機(jī)用途:
1、清潔金屬接合焊盤,;
2、改善晶片鍵合附著力,;
3、晶片凸點(diǎn)之前清除污染,;
4,、去除氟和其他鹵素污染;
原理:
微波是因?yàn)殡娫搭l率,,分別是直流,、低頻40KHz、射頻13.56MHz及本文介紹的微波2.45GHz,。
利用微波源振蕩產(chǎn)生的高頻交變電磁場(chǎng)將氧、氬,、氫等工藝氣體電離,,生成等離子體,,活性等離子體對(duì)被清洗物進(jìn)行表面處理,達(dá)到表面清潔活化的目的,。