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等離子清洗機在清洗微小孔中可實現(xiàn)的重要作用
隨著HDI板孔徑的微小化，傳統(tǒng)的化學清洗工藝已不能滿足盲孔結(jié)構(gòu)的清洗,，液體表面張力使藥液滲透進孔內(nèi)有困難，特別是在處理激光鉆微盲孔板時,，可靠性不好,。

　　目前應(yīng)用于微埋盲孔的孔清洗工藝主要有超聲波清洗和等離子體清洗，超聲波清洗主要依據(jù)空化效應(yīng)來達到清洗的目的,，屬于濕法處理,，清洗時間較長,，且依賴于清洗液的去污性能，增加了對廢液的處理問題,。

　　現(xiàn)階段普遍應(yīng)用的工藝主要為等離子體清洗工藝,，等離子體處理工藝簡單，對環(huán)境友好,，清洗效果明顯,，針對盲孔結(jié)構(gòu)非常有效。

　　等離子體清洗是指高度活化的等離子體在電場的作用下發(fā)生定向移動,，與孔壁的鉆污發(fā)生氣固化學反應(yīng),，同時生成的氣體產(chǎn)物和部分未發(fā)生反應(yīng)的粒子被抽氣泵排出。

　　等離子體在HDI板盲孔清洗時一般分為三步處理,，一階段用高純的N2產(chǎn)生等離子體,，同時預(yù)熱印制板，使高分子材料處于一定的活化態(tài),；第二階段以O(shè)2,、CF4為原始氣體，混合后產(chǎn)生O,、F等離子體,，與丙烯酸、PI,、FR4,、玻璃纖維等反應(yīng)，達到去鉆污的目的,；第三階段采用O2為原始氣體,，生成的等離子體與反應(yīng)殘余物使孔壁清潔。

　　在等離子清洗過程中,，除發(fā)生等離子化學反應(yīng),，等離子體還與材料表面發(fā)生物理反應(yīng)。等離子體粒子將材料表面的原子或附著材料表面的原子打掉,，有利于清洗蝕刻反應(yīng),。

　　隨著材料和技術(shù)的發(fā)展，埋盲孔結(jié)構(gòu)的實現(xiàn)將越來越小,，越來越精細化,；在對盲孔進行電鍍填孔時，使用傳統(tǒng)的化學除膠渣方法將會越來越困難,，而等離子處理的清洗方法能夠很好地克服濕法除膠渣的缺點,，能夠達到對盲孔以及微小孔的較好清洗作用，從而能夠保證在盲孔電鍍填孔時達到良好的效果,。