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判斷Plasma等離子清洗效果,,方法都有哪些,?

閱讀:9307        發(fā)布時間:2019-7-31

  等離子清洗機(jī)(plasma cleaner)也叫等離子清潔機(jī),或者等離子表面處理儀,,是一種全新的高科技技術(shù),,利用等離子體來達(dá)到常規(guī)清洗方法無法達(dá)到的效果。等離子體是物質(zhì)的一種狀態(tài),,也叫做物質(zhì)的第四態(tài),,并不屬于常見的固液氣三態(tài)。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài),。等離子體的“活性”組分包括:離子,、電子、原子,、活性基團(tuán),、激發(fā)態(tài)的核素(亞穩(wěn)態(tài))、光子等,。等離子清潔機(jī)就是通過利用這些活性組分的性質(zhì)來處理樣品表面,,從而實現(xiàn)清潔、涂覆等目的,。

等離子清洗機(jī)的應(yīng)用已經(jīng)非常非常廣泛,,汽車制造、手機(jī)制造,、玻璃光學(xué),、材料科學(xué)、電子電路,、印刷造紙、塑料薄膜,、包裝技術(shù),、醫(yī)療醫(yī)用、紡織工業(yè)、新能源技術(shù),、航天軍工,、手表首飾等等。

那么,,有哪些方法可以判斷Plasma等離子清洗機(jī)做表面處理的效果呢,?

1、水滴角測試
水滴角測試是測試等離子體對產(chǎn)品有無處理效果的方法之一,,水滴角測試可以體現(xiàn)出等離子對產(chǎn)品處理是否有效果,,但不能夠*依靠此結(jié)果判斷是否已經(jīng)達(dá)到處理要求,特別是在去除Particle的工藝中,,水滴角是無法測試出Particle是否被去除的,。


水滴角測量儀(接觸角測量儀)
不同材質(zhì)的產(chǎn)品,等離子處理前和處理后的水滴角是不同的,,這取決于被處理材質(zhì)的分子或組織結(jié)構(gòu),,不同材質(zhì)其初始表面能是*不同的,經(jīng)等離子處理后其表面發(fā)生的反應(yīng)也不相同,,所以處理后的角度也是不統(tǒng)一的,,特別是有機(jī)材料。

無機(jī)材料等離子處理時,,其主要作用是清除表面油污,、粗化表面等,其他影響因素較少,,所以經(jīng)處理后的表面通常是變化比較大的,,如表面光滑清潔,經(jīng)等離子處理后通常都能達(dá)到20°以下,。

硅晶圓處理前41.83℃ 硅晶圓處理后12.54℃
有機(jī)材料種類繁多,,其分子結(jié)構(gòu)非常復(fù)雜,且難以做到*統(tǒng)一,。比如同樣是PP材質(zhì),,生產(chǎn)過程中管控不統(tǒng)一,所形成的分子結(jié)構(gòu)也會有所區(qū)別,,如果添加了不同色母或其他填充物,,那么其結(jié)構(gòu)就更復(fù)雜了,初始的表面能也會有較大的變化,。從以上的舉例中我們也可以看到,,不同的材料,其水滴角的初始角度和處理后的角度都是有很大區(qū)別的,,尤其是一些成分較多的復(fù)合材料,,其中含F(xiàn)的材料是難處理的,。

水滴角是一種量化處理效果比較簡單的方式,但需要根據(jù)被處理產(chǎn)品材質(zhì)的特點及實際使用要求,,制定合理的測試方案,。如是去除Particle的清洗,不建議使用水滴角測試去評測是否清洗干凈,,水滴角是無法體現(xiàn)是否去除Particle的,,只能判斷出是否提高了表面能,而且需要去除Particle的表面基本都是光滑清潔的表面,,等離子處理后水滴角基本都是在20°以下,。

注意:水滴角測試需統(tǒng)一每次測試的水滴大小,并確保測試用水無較大變化,。


2,、達(dá)因筆測試
達(dá)因,表面張力[英dyne]的單位,,物體表面能的大小單位,,達(dá)因值小,物體表面能低,,達(dá)因值大,,物體表面能大,表面能越大,,吸附性越好,,粘接和涂覆效果越佳;
達(dá)因筆可以直接測試物體表面能量的大小,,使用方便可靠,。

3、SEM掃描
電子掃描電鏡的簡稱,,可以將物體表面放大到幾千倍,,將分子結(jié)構(gòu)的微觀圖片拍攝出來。

4,、紅外線掃描
利用紅外線測試設(shè)備,,能測試出工件經(jīng)過等離子處理前后,工件表面極性基團(tuán)和元素成份組合狀況,。

5,、拉力(推力)測試
對于用于粘接的產(chǎn)品來講,這種方法是可靠的,。

6,、高倍顯微鏡觀察法
適用于要求去除Particle的相關(guān)產(chǎn)品。

7,、切片法
適用于續(xù)作切片觀察的行業(yè),,例如PCB和FPC加工行業(yè),,通過制作切片,利用晶相顯微鏡觀察和測量線路板孔內(nèi)的刻蝕效果,。

8、稱重法
尤其適合檢測等離子對材料表面進(jìn)行刻蝕和灰化后的效果,,主要目的是驗證等離子處理設(shè)備的均勻性,,這是比較高的指標(biāo),一般國內(nèi)設(shè)備均勻性都不夠理想,。

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