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離子清洗機(plasma cleaner)也叫等離子表面處理儀,，是一種全新的高科技技術(shù),，利用等離子體來達到常規(guī)清洗方法無法達到的效果。等離子體是物質(zhì)的一種狀態(tài),，也叫做物質(zhì)的第四態(tài),，并不屬于常見的固液氣三態(tài)。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài),。等離子體的“活性”組分包括：離子,、電子、原子,、活性基團、激發(fā)態(tài)的核素（亞穩(wěn)態(tài)）,、光子等,。等離子清洗機就是通過利用這些活性組分的性質(zhì)來處理樣品表面，從而實現(xiàn)清潔,、涂覆等目的,。

目前常用等離子體激發(fā)頻率有40kHz、13.56MHz和2.45GHz三種,。

40kHz,、13.56MHz和2.45GHz等離子體激發(fā)頻率區(qū)別：

激發(fā)頻率為40kHz的等離子體為超聲等離子體，其發(fā)生的反應(yīng)為物理反應(yīng),；

激發(fā)頻率為13.56MHz的等離子體為射頻等離子體,，其發(fā)生的反應(yīng)既有物理反應(yīng)又有化學反應(yīng),；

激發(fā)頻率為2.45GHz的等離子體為微波等離子體，其發(fā)生的反應(yīng)為化學反應(yīng),。

40kHz,、13.56MHz和2.45GHz等離子體激發(fā)頻率運用：

激發(fā)頻率為40kHz的等離子體即超聲等離子體清洗是以物理反應(yīng)為主的等離子體清洗，也叫做濺射腐蝕（SPE）或離子銑（IM）,，其優(yōu)點在于本身不發(fā)生化學反應(yīng),，清潔表面不會留下任何的氧化物，可以保持被清洗物的化學純凈性,。超聲等離子體清洗對被清潔表面產(chǎn)生的影響較大,，因而實際半導體生產(chǎn)應(yīng)用中大多采用射頻等離子體清洗和微波等離子體清洗。而超聲等離子則應(yīng)用于表面除膠,、毛刺打磨等處理方面效果較為理想,。典型的等離子體物理清洗工藝是在反應(yīng)腔體中加入氬氣作為輔助處理的等離子體清洗。氬氣本身是惰性氣體,，等離子體的氬氣不和表面發(fā)生反應(yīng),，而是通過離子轟擊使表面清潔。

激發(fā)頻率為2.45GHz的等離子體即微波等離子體是典型的等離子體化學清洗工藝,，是氧氣等離子體清洗,。通過等離子體產(chǎn)生的氧自由基非常活潑,，容易與碳氫化合物發(fā)生反應(yīng),，產(chǎn)生二氧化碳、一氧化碳和水等易揮發(fā)物,，從而去除表面的污染物,。主要用于科研方面及實驗室。

激發(fā)頻率為13.56MHz的等離子體清洗是表面反應(yīng)機制中物理反應(yīng)和化學反應(yīng)都起重要作用,，即反應(yīng)離子腐蝕或反應(yīng)離子束腐蝕,，兩種清洗可以互相促進，離子轟擊使被清洗表面產(chǎn)生損傷削弱其化學鍵或者形成原子態(tài),，容易吸收反應(yīng)劑,，離子碰撞使被清洗物加熱，使之更容易產(chǎn)生反應(yīng),；

公司等離子分為：大氣直噴等離子清洗機,、大氣旋轉(zhuǎn)等離子清洗機、超低溫等離子清洗機,、消音腔頭系列等離子表面處理設(shè)備,、大氣常壓等離子清洗機、先行等離子清洗機,、寬幅等離子清洗機等均可搭配到自動化流水線上使用,。

真空等離子清洗機根據(jù)各個腔體大小有：5L\10L\20L\50L\100L\150L等,。腔體大小也可非標定制。

等離子清洗機行業(yè)應(yīng)用