您好, 歡迎來到化工儀器網(wǎng)
你應(yīng)該知道的X射線光電子能譜儀
閱讀：984 發(fā)布時(shí)間：2020-4-14
X射線光電能譜儀作為一個(gè)分析儀器，在一些材料的分析和元素化學(xué)價(jià)態(tài)分析上使用較多,。其使用的X射線光電子能譜是一種常見的分析表面成分分析法。
X射線光電子能譜儀
X-射線光電子能譜儀,，是一種表面分析技術(shù),，主要用來表征材料表面元素及其化學(xué)狀態(tài)。其基本原理是使用X-射線,，如AlKa=1486.6eV,，與樣品表面相互作用，利用光電效應(yīng),，激發(fā)樣品表面發(fā)射光電子,，利用能量分析器，測量光電子動(dòng)能(K.E)，根據(jù)B.E=hv-K.E-W.F,，進(jìn)而得到激發(fā)電子的結(jié)合能(B.E),。
設(shè)備組成
光電子能譜儀主要由激發(fā)源、電子能量分析器,、探測電子的檢測器和真空系統(tǒng)等幾個(gè)部分組成,。
工作原理
由激發(fā)源發(fā)出的具有一定能量的x射線、電子束,、紫外光,、離子束或中子束作用于樣品表面時(shí)，可將樣品表面原子中不同能級(jí)的電子激發(fā)出來,，產(chǎn)生光電子或俄歇電子等,，這些自由電子帶有樣品表面信息，并具有特征動(dòng)能,，通過能量分析收集和研究它們的能量分布,，經(jīng)檢測記錄電子信號(hào)強(qiáng)度和電子嫩倆的關(guān)系曲線，即為光電子能譜,。
X射線光電子能譜儀的應(yīng)用
XPS：固體樣品的表面組成分析,，化學(xué)狀態(tài)分析，取樣訊息深度為～10nm以內(nèi).功能包括:
1.表面定性與定量分析.可得到小於10um空間分辨率的X射線光電子能譜的全譜資訊.
2.可進(jìn)行樣品的原位處理AES：1.可進(jìn)行樣品表面的微區(qū)選點(diǎn)分析(包括點(diǎn)分析,，線分析和面分析)2.可進(jìn)行深度分析適合：納米薄膜材料,，微電子材料，催化劑,，摩擦化學(xué),，高分子材料的表面和界面研究
3.線掃瞄或面掃瞄以得到線或面上的元素或化學(xué)態(tài)分布.
4.成像功能.
5.維持10um以下的空間分辨率元素成分包括化學(xué)態(tài)的深度分析(角分辨方式,,氬離子或團(tuán)簇離子刻蝕方式)