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如何對薄膜沉積控制儀做標準化的日常維護
如何對薄膜沉積控制儀做標準化的日常維護,?
薄膜沉積控制儀安裝時注意保持水平位置,,對薄膜沉積控制儀與地基的結合面和出風管的聯(lián)接等,應調整使之自然吻合不得有強行聯(lián)接,不允許將管道重量加在薄膜沉積控制儀的部件上,。
薄膜沉積控制儀時應對各部件進行全面檢查,,機件是否完整,各部件聯(lián)接是否緊固,。薄膜沉積控制儀在運轉時如發(fā)現(xiàn)有劇烈的振動撞擊等反?,F(xiàn)象必須立即停車檢查。薄膜沉積控制儀在露天使用應有防雨措施,。按期清除薄膜沉積控制儀內部積灰,、污垢等雜質,并防止銹蝕,。
以上內容就是薄膜沉積控制儀在日常維護中標準化的流程,,希望大家可以了解更多。