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擴散泵報警什么原因

2015-10-19  閱讀(3439)

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擴散泵報警什么原因:

檢查擴散泵上的循環(huán)水還有嗎~或者是擴散泵循環(huán)水上的傳感壞了.

擴散泵常出現的故障:

1:極限真空變低,,原因:

a.系統(tǒng)中有滲漏,;

b.系統(tǒng)太臟;

c.泵油污染,;

d.加熱功率不夠,;

e.冷卻水不足;

f.過量或過冷的冷卻水,;

g.前級壓力高,;檢查密封性能及前級管道是否有泄漏現象;

h.快冷管內有水,。

2: 抽氣較慢,,原因:

a.加熱功率低;

b.油量不足,;

c.噴帽安裝位置不當或受損,。

3:進口壓力波動,原因:

a.加熱器輸入功率不當,;

b.油脫氣,;

c.擴散泵進口前面系統(tǒng)有滲漏。

4:工作腔污染大,,原因:

a.前級壓力高,;

b.在高于10-1Pa壓力下長期工作;

c.系統(tǒng)操作有誤,。

5:返油率過大,,原因:

a. 頂噴嘴帽松動,間隙過大,;

b. 加熱功率不對,;

擴散泵報警什么原因:

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