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羅茨泵的工作原理:
羅茨泵的結(jié)構(gòu)如圖所示。在泵腔內(nèi),，有二個(gè)“8"字形的轉(zhuǎn)子相互垂直地安裝在一對(duì)平行軸上,，由傳動(dòng)
比為1的一對(duì)齒輪帶動(dòng)作彼此反向的同步旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。在轉(zhuǎn)子之間,，轉(zhuǎn)子與泵殼內(nèi)壁之間,，保持有一定的
間隙，可以實(shí)現(xiàn)高轉(zhuǎn)速運(yùn)行,。由于羅茨泵是一種無(wú)內(nèi)壓縮的真空泵,，通常壓縮比很低，故高,、中真空
泵需要前級(jí)泵,。羅茨泵的極限真空除取決于泵本身結(jié)構(gòu)和制造精度外，還取決于前級(jí)泵的極限真空,。
為了提高泵的極限真空度,，可將羅茨泵串聯(lián)使用。
羅茨泵的工作原理:
羅茨泵的工作原理與羅茨鼓風(fēng)機(jī)相似,。由于轉(zhuǎn)子的不斷旋轉(zhuǎn),，被抽氣體從進(jìn)氣口吸入到轉(zhuǎn)子與泵殼之
間的空間v0內(nèi)，再經(jīng)排氣口排出,。由于吸氣后v0空間是全封閉狀態(tài),，所以，在泵腔內(nèi)氣體沒有壓縮和
膨脹,。 但當(dāng)轉(zhuǎn)子頂部轉(zhuǎn)過排氣口邊緣,，v0空間與排氣側(cè)相通時(shí),，由于排氣側(cè)氣體壓強(qiáng)較高，則有一部
分氣體返沖到空間v0中去,，使氣體壓強(qiáng)突然增高,。當(dāng)轉(zhuǎn)子繼續(xù)轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，氣體排出泵外,。
羅茨泵的工作原理:
如圖為羅茨泵轉(zhuǎn)子由0°轉(zhuǎn)到180°的抽氣過程,。在0°位置時(shí)（圖中a），下轉(zhuǎn)子從泵入口封入v0體積
的氣體,。當(dāng)轉(zhuǎn)到45°位置時(shí)（圖中b）,，該腔與排氣口相通。由于排氣側(cè)壓強(qiáng)較高,，引起一部分氣體返
沖過來,。當(dāng)轉(zhuǎn)到90°位置時(shí)（圖中c），下轉(zhuǎn)子封入的氣體,，連同返沖的氣體一起排向泵外,。這時(shí)，上
轉(zhuǎn)子也從泵入口封入v0體積的氣體,。當(dāng)轉(zhuǎn)子繼續(xù)轉(zhuǎn)到135°時(shí)（圖中d）,，上轉(zhuǎn)子封入的氣體與排氣口
相通，重復(fù)上述過程,。180°（圖e）位置和0°位置是一樣的,。轉(zhuǎn)子主軸旋轉(zhuǎn)一周共排出四個(gè)v0體積
的氣體。
羅茨泵的工作原理:
